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1 11IVO Confidential2 22ALS 2.0ALS 2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦测系统特气中央系统设计3 33类别气体名称腐蚀性/毒性CORROSIVE/TOXICHCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等可燃性FLAMMABLEH2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等助燃性O2、Cl2、N2O、NF3等惰性INERTN2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等1.1 气体种类大宗气体特殊气体N2、H2O2、He Ar、He 4 44氣體氣體ArArArArH2H2H2H2HeHeHeHeN2N2N2N2O2O2O2O2B2H2B2H2B2H2B2H2CF4CF4CF4CF4Cl2Cl2Cl2Cl2HClHClHClHClHFHFHFHFNF3NF3NF3NF3NH3NH3NH3NH3N2ON2ON2ON2OPH3PH3PH3PH3SiH4SiH4SiH4SiH4SiH2Cl2SiH2Cl2SiH2CSiH2Cl2l2SF6SF6S
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