1、电子显微镜Electron Microscopy电子显微镜 透射电子显微镜 TEM TEM构造 TEM制样 薄膜制备 染色技术 复型技术 TEM应用实例 HIPS结构探测 相形态结构表征 扫描电子显微镜 SEM SEM构造 SEM制样 SEM应用实例 相结构表征 形貌观察 两相粘合状态考察引言 光波经由透镜折射到像平面上会与周围区域的光波发生干涉现象（衍射）。这使得物点经过透镜成的像在像平面上不再是一个像点，而是一个 Airy亮斑。显微技术分辨率 通常把两个 Airy斑中心间距等于 Airy斑半径时，物平面上相应的两个物点间距定义为透镜能分辨的最小间距，即透镜分辨率。 由于受到光衍射的限制，光
2、学显微镜的极限分辨率为 0.2 m左右。 为了得到分辨率更高的显微镜，就必须采用波长更短的波。电磁波谱波源选择除了电磁波谱外，在物质波中，电子波不仅具有短波长，而且存在使之发生折射聚焦的物质，所以电子波可以作为照明光源，由此形成电子显微镜。加速电压U/KV 电子波波长/nm 加速电压U/KV 电子波波长/nm 20 0.00859 200 0.00251100 0.00371 1000 0.00087电子显微镜 用电子束代替可见光，用静电透镜或电磁透镜代替玻璃透镜可制成电子显微镜（Electron Microscope, EM），其极限分辨率可达 1 nm甚至更小。 电子与样品的相互作用Tra
3、nsmission Electron Microscopy, 2nd Edition, p. 7 特征电子 （ 1）透射电子 入射电子穿过样品而与其无相互作用，则形成直接透射电子。 （ 2）散射电子 入射电子穿透到离核很近的地方被反射，反射角的大小取决于入射电子的能量及离核的距离，因而实际上任何方向都有散射。 （ 3）二次电子 入射电子撞击样品表面原子的外层电子，把它激发出来，形成二次电子。用于 TEM & SEM成像的电子 透射电子显微镜（ Transmission Electron Microscope, TEM）用直接透射电子以及弹性或非弹性散射的透射电子成像。 扫描电子显微镜（ Scanning Electron Microscope, SEM）用背景散射电子和二次电子成像。
