EVO18技术说明.doc

1、 Carl Zeiss SMT Attachment-1/14钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO 182009 年 6 月 3 日Carl Zeiss SMT Attachment-2/14目 录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务Carl Zeiss SMT Attachment-3/14附件一： 聚焦CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业-德国蔡司公司始创于 1846 年。其电子光学前身为 LEO（里奥）,更早叫 Cambridge（剑桥）和 Zeiss。积扫描电镜领域 40 多年

2、及透射电镜领域 60 年的经验，ZEISS 电子束技术在世界上创造了数个第一： 第一台静电式透射电镜 (1949) 第一台 商业化扫描电镜 (1965) 第一台数字化扫描电镜(1985) 第一台 场发射扫描电镜(1990) 第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992) 第一台具有 Koehler 照明的 200kV 场发射透射电镜(2003) 第一台具有镜筒内校正 Omega 能量滤波器的场发射透射电镜 (2003)CARL ZEISS 其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技

3、术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的 CARL ZEISS 将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。Carl Zeiss SMT 下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。Carl Zeiss SMT Attachment-4/14附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经

4、过三级 电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描， ，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子） ，然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。扫描电镜（SEM ）广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺

5、寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。选配附件：能谱仪：即 X 射线能量色散谱仪,简称 EDS 主要是用来分析材料表面微区的化学成分,分析方式有定点定性分析、定点定量分析、元素的线分布、元素的面分布。波谱仪：(即 X 射线波长色散谱仪,简称 WDS)，用作微区成分分析。分析精度方面比能谱仪精度更高，可以做成分的定量分析。EBSD(电子背散射衍射仪)：EBSD 主要可做单晶体的物相分析, 同时提供花样质量、置信度指数、彩色晶粒图,可做单晶体的空间位向测定、两颗单晶体之间夹角的测定、可做特选取向图、共格晶界图、特殊晶界图,同时提供不同晶界类型的绝对数量和相对比例 ,即多晶粒夹角的统计分析、晶粒取向的统

6、计分析以及它们的彩色图和直方统计图,还可做晶粒尺寸分布图,将多颗单晶的空间取向投影到极图或反极图上可做二维织构分析 ,也可做三维织构即ODF 分析。离子溅射仪：样品镀覆导电膜（金膜） ，喷碳，使绝缘材料能够导电，是配合扫描电子显微镜制样必备的仪器。Carl Zeiss SMT Attachment-5/14附件三：技术指标EVO18 是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的 X 射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。

7、主要参数：1.光学系统1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。1.3、光阑：三级可调物镜光阑。*1.4、加速电压：200V30kV，10V 步进连续可调。1.5、图像电平移：50m。*1.6、放大倍数：51000,000，连续可调。*1.7、分辨率：高真空二次电子像=3.0nm（30kV） ；低真空背散射电子像=4.0nm（30kV） 。*1.8、探针电流范围：0.5 pA5 A，连续可调。1.9、聚焦工作距离：2mm145mm。2.0、电子束气体路径长度：2mm。2、真空系统*2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却

8、水。2.2、真空度：最高真空度：优于 0.1mPa；低真空压力范围：10Pa400Pa。2.3、在低真空条件下，保持 8.5 的工作距离，并且可以做能谱分析。3、样品系统*3.1、样品室内部尺寸： 365mm()275mm（h） 。Carl Zeiss SMT Attachment-6/14*3.2 可放置的最大样品尺寸：直径 250mm，高度 145mm3.3、最大允许样品重量：不小于 5kg。*3.4、样品台移动方式：五轴马达驱动。*3.5、样品台移动范围：X 125mm, Y 125mm, Z 50mm,0+90倾斜，360旋转 。 3.6、样品台移动精度：重复性3,000,000cps

9、Carl Zeiss SMT Attachment-7/146.6、最在输出计数：1,100,000cps注：如配热台样品台 XY 轴移动范围必须大于 100MM附件四、供货范围及报价Item Sale Code Description1 EVO-18-BU Basic Unit EVO 18. Tungsten emission system, air admittance to 400 Pa, 5-axis motorised stage with software joystick, SE-detector, and multilingual Win XP ProEVO 18 主机。钨灯

10、丝发射系统，低真空工作可达 400Pa，带有软件操纵杆的 5 轴马达驱动计算机居中样品台，二次电子探测器， Win XP Pro 操作系统。2 19TFT 19“ colour flat panel display monitor19 寸彩色液晶显示器3 JOYSTICK Styled Dual Joystick Controller双轴遥感操作器4 CONTROLPANEL-UKControl panel with rotary controls and keyboard. UK English旋钮操作控制面板5 CHAMBERSCOPEChamber scope with IR illum

11、ination displayed to full screen (stage door mounted)具有红外照明、全屏幕显示的样品室观察系统（CCD)6 CENTRE Centre Point and Centre Feature. To bring a point, or area, to the centre of the field of view.中心点和中心特征功能。7 EVO-FISHEYE OptiBeam mode for very low magnification imaging during navigation. 鱼眼模式用于低倍率观察8 LM-4QBSD LM

12、4QBSD-1kV 16 mm diode. 背散射电子探测器9 EXTIF External scan input and video output cable. Includes Remote Control using RS232 (REMCON)能谱接口Carl Zeiss SMT Attachment-8/14附件五、计划进度及培训Attachment 5 : Plan otherwise, ventilation time for the chamber would be too long. The maximum pressure must be limited to 0.3 b

13、ar. With the chamber opened nitrogen consumption is approximately 3 l/min. at 0.2 bar above ambient pressure. The purity of the nitrogen should be about 99.996%. The pipe supplied is 4mm internal diameter and 6mm external diameter.强烈建议，在样品更换期间用干燥的氮气对样品室与真空泵进气。最低压力应不小于 0.2 bar；不然，对样品室进气时间将太长。最大压力必须限制

14、在 0.3 bar。在高于周围压力 0.2 bar 时，在样品室打开时氮气的消耗量大约是 3 l/min。氮气的纯度应约为 99.996%。提供的管子为 4mm 内径和 6mm 外径。Rotary Pump Exhaust旋转泵排气The rotary pump produces oil mist during pump down, this can contaminate the environment and create a health hazard when used in enclosed surroundings. The oil mist filter supplied and

15、 /or an external exhaust must be connected to the rotary pump. The pipe should be a plastic tube with an inner diameter of 10 mm.在抽真空期间，旋转泵产生油雾，在封闭环境中使用时，它能污染环境并危害健康。旋转泵上必须连接提供的油雾过滤器和/或外部排气。管子应为内经为10mm的塑料管。Vibration震动Velocity level:速度水平：Less than 6 m/sec rms. from 0-30Hz.Less than 12 m/sec rms. abov

16、e 30 Hz.Measurement directions: X Y and Z小于 6 m/sec rms。从0-30Hz。小于 12 m/sec rms。30 Hz以上。测量方向：X、Y、ZStray Magnetic Field杂散磁场The maximum permissible stray field in the room is 3 x 10-7 T (peak to peak) =3 mG (peak to peak).室内最大允许杂散磁场为 3 x 10-7 T（峰-峰值）= 3 mG（峰-峰值）。The environmental and utility requirements are the responsibility of the customer and shall be provided at the time of installation. Failure to comply with these conditions may adversely affect the performance figures quoted in this specification.环境与实用要求是用户的责任，并应在安装时提供。如果不满足这些条件，可能