1、1. 什么是“X 射线光电子能谱X 射线光电子能谱（ XPS ，全称为 X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用 X 射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA，全称为 Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）XPS 是由瑞典 Uppsala 大学的 K. Siegbahn 及其同事历经近 20 年的潜心研究于 60 年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方
2、法。鉴于 K. Siegbahn 教授对发展 XPS领域做出的重大贡献，他被授予 1981 年诺贝尔物理学奖。 另外，他也被我校化学物理系聘为名誉教授 ；XPS 现象基于爱因斯坦于 1905 年揭示的光电效应，爱因斯坦由于这方面的工作被授予 1921 年诺贝尔物理学奖；X 射线是由德国物理学家伦琴（Wilhelm Conrad R?ntgen，l845-1923）于 1895 年发现的，他由此获得了 1901 年首届诺贝尔物理学奖。2. XPS 中涉及的物理学原理2.1 X 射线物理X 射线起源于轫致辐射，可被认为是光电效应的逆过程，既：电子损失动能 = 产生光子(X 射线)因为原子的质量至少
3、是电子质量的 2000 倍，我们可以把反冲原子的能量忽略不计。 上图：X 射线管示意图；上图：现代商用薄的铝箔材料，厚度约为 12 型 X 射线源，X 射线的出射窗采用很?m，它可以阻止 X 射线源中的散射电子的通过，同时还可滤去相当部分的轫致辐射所形成的 X 射线本底。 典型的 X 射线谱表现为在连续谱（白光 X 射线）上出现迭加的标识峰（特征 X 射线），其对应的波长表征着靶物质的特性。可以根据靶原子原子结构的量子描述来解释这些特征 X 射线谱线。靶材不变时，改变加速电压 V ，则 X 射线连续谱的?max 改变，但标识 X 射线频率却不变；改变靶材时，加速电压 V 不变，特征 X 射线谱
4、的峰位将发生改变，但 X 射线连续谱的 ?max 不变。在目前的商业化仪器中， XPS 的靶材一般采用 Al/Mg 双阳极靶，这样可以根据分析需要来进行选择，由 Al 靶产生的 Al K?射线光子的能量为 1486.6 eV，Mg K?为 1253.6 eV。另外，还有选用 Ti 的 K?射线作为光源，其光子能量为 2040 eV；作为 XPS 的激发源，要求其具有光强强、单色性好的特点。X 射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高，因此，一般说来，高精度 XPS 系统中会自带一套单色光源，比如，单色 Al K?源；选择什么样的 X 射线作为光源取决于具体的分析对象，因此，不存在哪种光源好或不
5、好的问题，实际操作中，经常会为了提高读谱的准确性，连续采用两种或两种以上光源的情况。2.2 光电效应根据爱因斯坦关系式：如果入射 X 射线引起了原子 A 的光化电离，即：按照能量保守原则，有：由于电子的能量可以以其动能形式表达，有：因此：BE 为是内层电子的轨道结合能。对固体中原子而言，BE 一般是相对其费米能级，而不是真空能级！在此情况下，一般还需要加上样品从真空能级算起的结合能作为样品的功函数来进行补充！2.3 能量分析通过测定光电子的运动能量而探究物质中的电子状态，而测量光电子的运动能量，主要利用静电场,静磁场及电子的飞行时间等方式。目前，测量运动能量在几千电子伏特以下光电子的主要手段是利用静电场。其中同心半球型能量分析器(CHA)同时装有入射电磁透镜和孔径选择板,可以进行超高能量分解光电子测定,高分解能角度分解测定。具有动能为 E0 (通能 Pass Energy)的电子通过半球型能量分析器能量分辨率 = f(E0, R0, 接受角 ,缝宽 fs)超高真空（UHV）2.4.1 真空的分类 真空不空，即使在 UHV 条件下，空间中仍分布着大量的气体分子！2.4.2 真空的获得 1.利用机械泵，使真空度达到 10-2 mbar；
