冷场发射扫描电镜.doc

1、版权所有：泰思肯贸易（上海）有限公司 地址：上海市徐汇区中山西路 2025 号 826 室 电话：021-64398570Copyright TESCAN CHINA, Ltd. 传真：021-64399739 E-Mail：网址：http:/www.tescan- 冷场发射扫描电镜（S E M）型号：S-4700 国别厂家：日本日立公司价格：人民币 2600000 万 购置日期：2005 年 11 月技术指标：冷场发射型，二次电子图象分辨率在 1KV, S=2.1nm， 15KV 时为 1.5nm 。15KV,S=2100 0,放大倍数 20-500K 。X 射线能谱元素分析范围 Be-92

2、U。谱线分辨率 129.25e V。 功能及应用范围：可以观察和检测非均相有机、无机材料， 及这些材料在纳米、微米级样品的表面特征。该仪器广泛应用于金属材料、高分子材料、半导体材料、化工原料、地矿物品、宝石文物等微观形貌的研究及公安刑侦的物证分析。能谱附件可对样品进行微区成分分析。送样要求： 送样样品可以为固体、块状、片状、纤维、状及粉末状，但必须为干燥品。应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。含水分较多的样品由客户自己处理。观察图象的样品由本室预先喷金，一般情况下，样品大小尽量10105mm ，粉末样品在 0.5 克左右。工作人员：高伟建,

3、 蒋芸（扫描电镜室 4106） 联系方式：65880389 ， jiangyun- 本电子株式会社(JEOL)地址：北京市西城区阜外大街 2 号万通新世界广场 B-1110100037电话：010-68046321/22/23传真：010-68046324E-Mail： 北京办事处地址：西城区阜外大街 2 号万通新世界广场 B-1110100037电话：68046321,68588381传真：68046324E-Mail： 捷欧路（北京）科贸有限公司地址：北京市西城区阜外大街二号万通新世界广场 B-1010100037电话：010-68046321,010-68046322传真：010-680

4、46324E-Mail： 上海办事处地址：上海市延安西路 65 号上海国际贵都大饭店办公楼 803 室200040电话：021-62484487,021-62484868传真：021-62484075E-Mail： 广州办事处地址：广州市环市东路 371-375 号世界贸易中心大厦北塔 3104 室510095电话：020-87787848,020-87618986传真：020-87784268E-Mail： 武汉办事处地址：武汉市解放大道 686 号世贸大厦 3216 室430032电话：027-85448953传真：027-85448695E-Mail： 成都办事处地址：四川省成都市总府路

5、 45 号总府大厦 1807A610000电话：028-86622554传真：028-86622564E-Mail： 场发射扫描电子显微镜（SEM）设备名称 冷场发射扫描电子显微镜 （SEM） 生产厂家 日本日立 申请单位 实验中心设备编号 20092895 分类编号 03021021 规格型号 S-4800 设备单价 2582338.4 购置时间 2009.5详细技术指标 二次电子像分辨率：1.0nm(15kv)；1.4nm(1kv,减速模式)；2.0nm (1kV)普通模式加速电压：0.5 30kV放大倍率：20 800,000束流强度：1pA2nA 物镜光栏：加热自清洁式、四孔、可移动物

6、镜光栏 样品室和样品台：移动范围：X：050mm；Y：05mm；Z：1.530mm；T：-5700 旋转 R：3600，最大样品尺寸：100mm 探测器: 高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并混合 X-sight Si(Li) 探测器 (专利)，SuperATW 窗口 30mm2 活区，分辨率优于 133eV (MnK 处,计数率为 4000cps)，分析元素范围：Be4-U92 现有功能与 服务范围 可观察物体二次电子像、被散射电子像。主要应用于生物、物理、化学、纳米材 料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、失效分析等1. 用于物理、化学粉末物质及纳米材料的形态观察和

7、粒度大小测量。2. 纤维的鉴别与品质鉴定：通过扫描电镜可以观察各种天然纤维和合成纤维的形态结构。通过动物毛发的形态结构特征及表面鳞片形态及密度对动物纤维作出品质鉴定和鉴别。3. 用于薄膜材料表面特征观察，粒子形态、分布及薄膜气孔大小与 分布，薄膜缺陷等。4. 催化剂表面形态及粒度分布测定5. 用于金属材料及其构件的各种断口和金相组织的形貌结构分析和失效分析6. 可用于研究古生物化石群，为古生物的分类及当时的地质演变，地层的形成年代提供资料7. 用于地质矿物方面。通过地下矿物的形态结构及组成为地下石油天然气的探测提供资料8. 用于生物医学等方面。主要用于昆虫的形态观察及分类；动物器官的微观形态研

8、究及病理临床诊断9. 高分子材料：通过扫描电镜可以观察高分子复合材料中部分结晶高聚物的球经大小，完善程度，断口的形态特点，共混物中分散相的大小、分布及与 连续相的混溶关系等10. 用于公安检察等部门的案件侦破提供依据能谱用途：微区元素成分分析。，适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量及定量分析。附带 IE PHASE 化学相分析软件和 IE SYNTH 化合物峰位拟和软件冷场发射扫描电子显微镜（Field Emission Scanning Electron Microscope (SEM)）2008-8-20 管理学院楼 G112 管理学院

9、楼 G112 型号：S-4700生产厂家：日本日立公司投入使用日期：2003.11安放地点：管理学院楼 G112设备价值：人民币 288 万元操作人员：王典亮高工，于 杰工程师联系电话：0451-86414867主要性能指标：二次电子像分辨率：1.5nm（15kV），2.1nm（1kV）放大倍数：20500000 加速电压：0.530kV主要配置及附件：X 射线能谱仪（EDS） YAG 背散射电子探测器特色及用途：场发射扫描电镜与普通扫描电镜相比，具有更高的分辨率和放大倍数，特别是在较低的加速电压下仍然具有很高的分辨率。因此，该仪器除了具备普通扫描电镜的功能外，更适用于纳米材料（包括管、线和粉末）的观察和分析，特别是在低加速电压下可获得高分辨率的图像，可避免高能电子束辐照而引起的材料和器件的损伤，而适合于半导体器件和集成电路的检验。其配备的能谱仪元素分析范围为 BU，可用于微区成分的定性和定量分析，也可分析元素沿一直线上的浓度变化，还可分析元素在一区域内的浓度分布。应用领域：广泛应用于材料科学、纳米技术、生物医学、物理、化学、地质、机械加工、微电路质量检验、失效分析等领域。收费标准：机时费：300 元/小时收费标准：机时费：300 元/小时 联系人: 王典亮高工，于 杰工程师 联系地点：管理学院楼 G112 联系电话：0451-86414867