北京大学物理学院分子束外延系统.DOC

1、 北京大学 物理学院分子束外延系统 招标采购项目 招 标 文 件 编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 二八年 十 二 月 一 日 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .1. 目 录 第一部分 投 标 邀 请 . 2 第二部分 招标说明 . 4 第三部分 技术要求 . 7 第四部分 设备明细表 . 10 第五部分 技术规格偏离表 .11 第六部分 原厂授权 书 . 12 开 标 一 览 表 . 13 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .2. 第一部分 投 标 邀 请 公告日期： 2008 年 12 月 1 日 项目名称： 北京大学 物理学院 “

2、 分子束外延系统 ” 招标采购项目 招标编号 : 200851 招标机构名称 : 北京大学实验室与设备管 理部 地 址：北京市海淀区颐和园路 5 号北京大学（红 1 楼、红 2 楼之间的横楼二层 5225室） 邮 编： 100871 电 话： 62751412；传 真： 62765115 联 系 人：石铄 张宇波 张洁 北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”） 具体承办 北京大学 物理学院 “ 分子束外延系统 ” 招标采购项目 的招标采购事宜，邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标。 合格投标人均可在招标机构得到进一步的信息和查阅招标文件。 1.招标内容 1.1 招标货物名称

3、： 分子束外延系统 1.2 数量及 技术规格要求：详见标书 1.3 交货地点： 北京首都机场 2.合格投标人必须符合中华人民共和国政府采购法第二十二条之规定。 3.招标文件购买时间和办法： 2008 年 12 月 4 日 9:00 至 16:30 时在招标机构（北京大学西门内红 1 楼、红 2 楼之间横楼二层 5225 室）购买招标文件。标书售价 200 元人民币，售后不退。 4.投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书（ http:/ 5.接受投标时间、投标截止时间及开标时间 5.1 接受投标及投标截止时间：所有投标书应于 2008 年 12 月 15 日

4、上午 9:00 前递交到上述购买标书地址， 逾期恕不接受。 5.2 开标时间：兹定于 2008 年 12 月 15 日 上午 9:00 整在北京大学实验室与设备管理部 后院会议室 进行开标、 评标工作。 6.投标细则 6.1 投标内容 6.1.1 最终用户： 北京大学 物理学院 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .3. 6.1.2 设备名称： 分子束外延系统 6.1.3 投标语言： 投标文件 第四部分 - Summary Sheet of Goods Description（设备明细表）及 第五部分 -Specification and Deviation Form（技术规

5、格偏离表）以中英文对照应标，其余相关投标文件以中文应标 。 6.1.4 投标货币： 美元 6.1.5 交货时间：合同签订后的 六 个月内 6.2 付款条件 ： 招 标机构 接受以下付款方式： 100%不可撤消即期信用证，其中 90%货款凭装运单据支付，10%尾款凭用户签字确认且加盖单位公章的验收报告支付。 6.3 标书 文件要求 6.3.1 投标设备及价格明细表 (Summary Sheet of Goods Description) 6.3.2 技术规格应答及偏离表（ Specification and Deviation Form）（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标） 6.3.3 技

6、术资料及样本原件 6.3.4 原厂商委托书原件（适用于投标人为贸易公司者） 6.3.5 资格证明文件 包括：营业执照（复印件）； 法人资格证明或法人代表授权书；税务登记证明（复印件）；注册资本证明（复印件） ； 银行资信 证明 ；近 三 年 的 销售 业绩 及投标人认为有必要提供的 相关 证明文件。 6.4 文件数量：一式陆份（一份正 本五份副本） ， 开标一览表（ SUMMARY SHEET FOR BID OPENING）正本壹份（请单独放在壹小信封内供开标用） 7.投标地点和开标地点：北京大学实验室与设备管理部 会议室 8.中标结果将在评标结束后以书面形式通知中标商。 9.中标服务费按差

7、额定律累进法计算收取，具体为： 9.1 100 万元人民币 以下 部分按 1收取； 9.2 100 500 万元人民币部分按 0.8收取； 9.3 500 万元以上人民币部分按 0.6收取。 10.条款解释：本招标文件内容的解释权属于北京大学实验室与设备管理部。 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .4. 第二部分 招标说明 一 招标要求 1. 北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”） 具体承办 北京大学 物理学院 “ 分子束外延系统 ” 招标采购项目 的招标采购事宜 (Bid No. 200851)。 2. 投标人应仔细阅读招标文件（包括技术规格）的全部条文。 3

8、. 投标人所提供货物的技术规格应符合 或超过 标书中技术规格的要求。如果投标人不提供技术规格偏离表说明偏离情况，则将认为提供的货物完全符合招标文件的要求。 4. 投标产品是用新技术制造的，应相当或超过招标文件规定的技术规格，投标产品应具有相当或更好的性能、可靠性和耐用性。 5. 投 标时提交的产品样本必须是“原件”，而不是“复制件”。 6. 交货地点为北京首都机场 。 7. 交货时间在标书的技术规格部分中已注明。在投标文件中，投标人必须说明在 授 标以后完成交货的时间，经双方同意的交货期从合同生效之日算起。 8. 除了在技术规格中提出的要求外，在合同生效后 60 天之内，为使用户 做 好准备工

9、作，卖方应给最终用户邮寄一套所供产品的全套技术资料，其中包括操作手册（或应用指南）、维修手册等，另一套完整技术资料应随货物包装发运，这些费用应包括在该品目的基本报价中。 9. 在合同生效后 30 天内应将 设备 安装前对实验室的具体要求邮寄给 最终用户。 10. 设备 应包括一套标准附件和专用工具，投标人按常规提供的标准附件和工具的数量，应在投标中说明，并报单价。这些费用应包括在该品目的基本价格之内。 11. 对招标品目，除了标准附件外投标人还可提供保证 设备 正常运行的附件，专用工具，它们是该品目的补充部分，需分别报单价和总价，在评标时其总价应计入该品目的基本价格之内。 12. 在技术规格中

10、提出了询问的附件、备件、专用工具和消耗品，需分别报单价和总价，一旦接受，其费用将记入合同。 13. 除了技术规格中买方提出的要求之外，投标人可以推荐某些附件、备件和消耗品，它们是供选购的，应分别 报单价和总价，一旦接受，其费用将计入合同。 14. 维修及技术服务要求详见标书技术需求部分。 15. 投标文件一式六份 (一正五副 )，包括以下文件： 15.1 投标设备及价格明细表 (Summary Sheet of Goods Description) 15.2 技术规格应答及偏离表 (Specification and Deviation Form)（请对技术标书内容逐项应答并填充具体招标编号：

11、 200851 北京大学实验室与设备管理部 .5. 指标） 15.3 技术资料包括样本原件 15.4 原厂商委托书 原件 (适用于投标人为贸易公司者 ) 15.5 资格证明文件 16. 投标文件有效期为自开标之日起的 60 天。投标货币为美元 。接收投标文件截止时间为 2008 年 12月 15 日上午 9： 00 时。投标商务必在此时间前把密封投标文件送达 ， 逾期恕不接受。 邮编： 100871； 电话： 010-62751412； 传真： 010-62765115 联系人：石铄、张宇波、张洁。 二 评标原则 1. 初步审查及确定 是否基本响应： 1.1 审查投标人所投的标是否完整无误，如

12、单价和总价间有出入，则以单价为准，修正总价；如文字与数字间有出入，则以文字金额为准； 1.2 确定标书是否对招标文件做 出了基本响应，即是否符合招标文件 的所有条款，有没有重大偏离。重大偏离系指实质上影响投标人提供货物数量、质量或交付期，或者指实质性地与招标文件不一致，限制了 招标 方的权利或投标人的义务； 1.3 对标的响应性的确定是依据 投标文件 本身的内容，而不受外因的影响； 1.4 确定为未做 出基本响应的标将予排除，投标人不能在开标之后，通过改正不符之处而使其投标变为能响应。对于投标 文件中 并不构成重大偏离的任何细小的不正规、不一致或参差不齐， 可以忽略 。 2. 评 标方法 ：

13、本次招标采用综合评分法，是指在最大限度地满足招标文件实质性要求前提下，按照招标文件中规定的各项因素 进行综合评审后，以评标总得分最高的投标人作为中标候选供应商或者中标供应商的评标方法 。 3. 评分因素所占权重： 3.1 投标报价： 40； 3.2 综合商务： 10，考虑投标商 资质状况 ； 考虑投标人供货方案 ； 考虑投标人过 3 年做过的与本项目相同或相似的项目业绩 等 ； 3.3 技术性能： 40， 考虑 投标商的 设计 方案 、投标产品的配置 、 性能等； 3.4 售后服务： 10； 售后服务，培训等； 4. 标的澄清： 为有助于对 评标文件 进行审查、评价和比较，我们可以请投标人澄清

14、其投标内容。提出澄清的要求与答复均应是书面的，并不得改变投标价格或实质内 容。 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .6. 5. 资格后审： 5.1 这次评标中，我们将对综合得分最高 投标人和紧接其后的具有评估价的另一投标人进行重点资格后审； 5.2 确定所选择的投标人是否有资 格满意地履行合同，同时对紧接其后的具有评估价的另一投标人也要求做 出类似的确定； 5.3 做 出确定时将考虑投标人的财务、技术、服务和生产能力。审查是以投标人提交的投标人资格证明文件及我们认为必要的其它资料为基础进行的； 5.4 如果确定综合得分最高的 投标人不符合履行合同资格，其标将被排除，随即考虑

15、第二家。 6. 授予合同的准则： 招标机构不承诺最低价中标，将 把合同授予成功的 投标人，即所投的标被认定是能 最大限度的 响应、综合得分最高 且是经资格后审后认为能满意地履行合同的投标人。 7. 废标：遇到下列情况之一时，可以废标： 7.1 全部投标厂商均不具备投标资格； 7.2 全部投标实质上都有不符合招标文件要求； 7.3 缺乏有效的竞争； 7.4 投标价格超过预算，招标人无力支付。 三评标程序 1. 从开标到批准授予合同为止，这一段工作称为评标。 2. 开标后，业务组整理投标文件及有关商务资料，登记分发给评标人进行评标。 3. 评标人检查投标文件的完整性。投标文件应包括以下文件： 3.

16、1 投标设备及价格明细表 (Summary Sheet of Goods Description) 3.2 技术规格应答及偏离表 (Specification and Deviation Form) 3.3 技术资料（ 样本原件 ） 3.4 原厂商委托书 原件 (适用于投标人为 代理商或 贸易公司 ) 3.5 资格证明文件 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .7. 第三部分 技术要求 1. 设备名称 ： 分子束外延系统 2. 数量 ： 1 套 3. 设备用途说明 ： 本系统将主要用于氮化物半导体（包括 AlN、 GaN、 InN 及其三元四元合金）薄膜、异质结构以及量子结构

17、的外延生长，目标是利用所生长的 III 族氮化物异质结构和量子结构制作 大功率电子器件以及诸如高效太阳能电池之类的光电器件。 4. 工作条件 ： 电源： 100A-2 相 -220V， 2 火线， 1 零线， 1 地线 冷却水：总路流量不低于 10L/min. 干燥压缩空气或氮气： 75Psi （阀门控制） 相对湿度： 40%-85%， 长时间运行，无问题情况下 24 小时运行 温度： 18-30 摄氏度 5. 规格、技术要求及参数（包括提供技术文件或图纸、设备工作条件及环境要求） 5.1 真空腔室：本系统至少包括三个真空腔，即主腔室（ Growth chamber）、准备室（ Buffer

18、chamber）和进样室（ loadlock chamber）。 5.2 本底真空：各腔室要求的真空度如下： 主腔室（ Growth chamber）：各扩散炉和加热器不工作下本底真空度 110-10 torr；各扩散炉工作温度为 200C 下本底真空度 610-10 torr。 准备室（ Buffer chamber）：真空度 210-10 torr 进样室（ loadlock chamber）：真空度 210-8 torr，从大气开始抽到该真空度时间不大于 2 个半小时。 5.3 各腔室抽气能力：主腔室 3000 l/s，（要求使用 3 个泵，其中分子泵抽速 1000 l/s，分子泵前级要

19、求使用干泵，冷凝泵抽速 2000 l/s，离子泵抽速 400 l/s ） 准备室 200 l/s （要求使用离子泵） 进样室 200 l/s （要求使用分子泵加干泵） 5.4 各真空腔室相关配置： 主腔室：金属扩散炉 (effusion cell)： 6 个，（其中除 Si 和 Mg 扩散炉的容积 16cc 以外，其它扩散炉容积 40cc），最高可达温度 1300C，（温度偏差 1C，控制精度为 0.1C，控制方法为 PID 控制）包括温度 控制系统，镓炉、铟炉要求用 hot lip, 铝炉要求用 cold lip。 招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .8. 挡板（ Shu

20、tter）不少于 6 个，（要求使用气动磁耦合），含挡板控制系统 。 氮等离子体辅助源 炉 （ plasma cell）：至少 1 个，含挡板和控制系统 衬底加热温度：衬底的尺寸为 2、 3inch 兼容、最高可达温度不低于 1200C，（控制精度为 0.1C），含衬底旋转系统。 束流计：一个 高真空计：两个 高能电子衍射系统：一套 四级质谱仪：一套 红外测温仪：一套 准备室：衬底除气加热装置：要求可达温度 800C，包括温度控制系统 高真空 计： 1 个 进样室：衬底安装架一个，含至少 6 个衬底托，最好有初期除气装置和温度控制系统。 高真空计： 1 个 低真空计： 1 个 5.5 其他相关

21、配置： 生长控制系统：软件和硬件一套 高纯氮气质量流量计（ MFC） : 一个，要求精度 0.01SCCM。 氮气气路：一套，含管路和相关接口，管路尺寸为 1/4 英寸、接口使用 VCR接口、密闭性能 210-9 standard cc/sec （对氦气） 高纯氮气纯化器：一个，要求纯化后 O2, H2, CO2, CO 均 1 ppb 各生长腔之间采用插板阀隔离，样品传动机构和设备烘 烤采用加热毯进行加热，温度偏差 1C。 5.6 提供系统整体和各个部分的详细图纸。 6. 附件及零配件（备件及消耗品，包括专用工具） RHEED 灯丝，各种真空测试装置的灯丝，铜垫圈，衬底加热丝，高纯金属源材料

22、，高纯氮气纯化装置，安装和维护系统所需要的工具 7. 选件（需单独报价） K-cell 2 个，原位 CL 测试系统，原位光学监测系统， RHEED 原位监测系统 ，氮气等离子体源炉 8. 技术服务条款 8.1 安装、调试与培训 仪器到货后，厂家需再接到用户通知后 10 个工作日内进行安装调试；提供 2 名用户管理人员的现招标编号： 200851 北京大学实验室与设备管理部 .9. 场操作使用及 基本维护的免费培训，系统的调试时间在一个月之内。 8.2 验收：按标书及合同技术指标的规定分二次进行验收： 8.2.1 设备验收，满足合同规定的各项指标； 8.2.2 生长材料验收 : 样品 1： 2

23、 英寸蓝宝石衬底上生长 2 微米 GaN 后直接生长 AlGaN 层的二维电子气平均电子迁移率大于 1000cm2/Vs； 样品 2： 2 英寸蓝宝石衬底生长的 2 微米 GaN 外延薄膜厚度均匀性在 1.5%以内，表面粗糙度小于 1.5 nm, （ AFM 扫描面积为 10m10m） GaN 薄膜的迁移率大于 200cm2/Vs；。 8.3 保修期 保修期为安装验收合格之日起一年，在保修期外软硬件出现的问题，接到用户通知后二十四小时内给予答复，两个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因卖方原因不能及时修复，保修期将

24、相应顺延。 设备保修期满前 1 个月，卖方免费负责一次全面的检查、维护，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。 设备供应商提供终身维修，并保证不低于十五年的零配件供应。 8.4 软件升级 在硬件支持的前提下，免费提供软件升级。 8.5 提供维护操作手册和维修电路 图。 9. 包装要求及运输方式 包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、海运或陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。 10. 交货期 ： 合同签订后六个月交货 11. 交货地点 ： 北京首都机场