北京大学物理学院单面紫外光刻机.DOC

1、 北京大学 物理 学院 单面紫外光刻机 招标采购项目 招 标 文 件 编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 二 一 年 三 月 十 六 日 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .1. 目 录 第一部分 投 标 邀 请 . 2 第二部分 招标说明 . 4 第三部分 技术要求 . 7 第四部分 设备明细表 . 10 第五部分 技术规格偏离表 . 11 第六部分 原厂授权书 . 12 开 标 一 览 表 . 13 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .2. 第一部分 投 标 邀 请 公告日期： 2010 年 3 月 16 日 项目名称： 北京大学 物理

2、 学院 “ 单面紫外光刻机 ” 招标采购项目 招标编号 : 201005 招标机构名称 : 北京大学实验室与设备管 理部 地 址：北京市海淀区颐和园路 5 号北京大学（红 1 楼、红 2 楼之间的横楼二层 5225室） 邮 编： 100871 电 话： 62751412；传 真： 62765115 联 系 人：石铄 张宇波 张洁 北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”） 具体承办 北京大学 物理 学院“ 单面紫外光刻机 ” 招标采购项目 的招标采购事宜，邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标。 合格投标人均可在招标机构得到进一步的信息和查阅招标文件。 1.招标内容 1.1 招

3、标货物名称： 单面紫外光刻机 1.2 数量及 技术规格要求：详见标书 1.3 交货地点： 北京首都机场 2.合格投标人必须符合中华人民共和国政府采购法第二十二条之规定。 3.招标文件购买时间和办法： 2010 年 3 月 26 日 9:00 至 16:30 时在招标机构（北京大学西门内红 1 楼、红 2 楼之间横楼二层 5225 室）购买招标文件。标书售价 200 元人民币，售后不退。 4.投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书（ http:/ 5.接受投标时间、投标截止时间及开标时间 5.1接受投标及投标截止时间：所有投标书应于 2010年 4 月 7日

4、上午 9:00前递交到上述购买标书地址，逾期恕不接受。 5.2 开标时间：兹定于 2010 年 4 月 7 日 上午 9:00 整在北京大学实验室与设备管理部 后院会议室 进行 开标、 评标工作。 6.投标细则 6.1 投标内容 6.1.1 最终用户： 北京大学 物理 学院 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .3. 6.1.2 设备名称： 单面紫外光刻机 6.1.3 投标语言： 投标文件 第四部分 - Summary Sheet of Goods Description（设备明细表）及 第五部分 -Specification and Deviation Form（技术规格偏

5、离表）以中英文对照应标，其余相关投标文件以中文应标 。 6.1.4 投标货币： 美元 6.1.5 交货时间：合同签订后的 三 个月 内 6.2 付款条件 ： 招 标机构 接受以下付款方式： 100%不可撤消即期信用证，其中 90%货款凭装运单据支付，10%尾款凭用户签字确认且加盖单位公章的验收报告支付。 6.3 标书 文件要求 6.3.1 投标设备及价格明细表 (Summary Sheet of Goods Description) 6.3.2 技术规格应答及偏离表（ Specification and Deviation Form）（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标） 6.3.3 技术

6、资料及样本原件 6.3.4 原厂商委托书原件（适用于投标人为贸易公司者） 6.3.5 资格证明文件 包括：营业执照（复印件）； 法人资格证明或法人代表授权书；税务登记证明（复印件）； 银行资信 证明 ；近 三 年 的 销售 业绩 及投标人认为有必要提供的 相关 证明文件。 6.4 文件数量：一式陆份（一份正本五份副本） ， 开标一览表（ SUMMARY SHEET FOR BID OPENING）正本壹份（请单独放在壹小信封内供开标用） 7.投标地点和开标地点：北京大学实验室与设备管理部 会议室 8.中标结果将在评标结束后以书面形式通知中标商。 9.中标服务费按差额定律累进法计算收取，具体为：

7、 9.1 100 万元人民币 以下 部分按 1收取； 9.2 100 500 万元人民币部分按 0.8收取； 9.3 500 万元以上人民币部分按 0.6收取。 10.条款解释：本招标文件内容的解释权属于北京大学实验室与设备管理部。 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .4. 第二部分 招标说明 一 招标 要求 1. 北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”） 具体承办 北京大学 物理 学院“ 单面紫外光刻机 ” 招标采购项目 的招标采购事宜 (Bid No. 201005)。 2. 投标人应仔细阅读招标文件（包括技术规格）的全部条文。 3. 投标人所提供货物的技术规

8、格应符合 或超过 标书中技术规格的要求。如果投标人不提供技术规格偏离表说明偏离情况，则将认为提供的货物完全符合招标文件的要求。 4. 投标产品是用新技术制造的，应相当或超过招标文件规定的技术规格，投标产品应具有相当或更好的性能、可靠性和耐用性。 5. 投标时提交的产品样本必须是“原件” ，而不是“复制件”。 6. 交货地点为北京首都机场 。 7. 交货时间在标书的技术规格部分中已注明。在投标文件中，投标人必须说明在 授 标以后完成交货的时间，经双方同意的交货期从合同生效之日算起。 8. 除了在技术规格中提出的要求外，在合同生效后 60 天之内，为使用户 做 好准备工作，卖方应给最终用户邮寄一套

9、所供产品的全套技术资料，其中包括操作手册（或应用指南）、维修手册等，另一套完整技术资料应随货物包装发运，这些费用应包括在该品目的基本报价中。 9. 在合同生效后 30 天内应将 设备 安装前对实验室的具体要求邮寄给最终用户。 10. 设备 应包括一套标准附 件和专用工具，投标人按常规提供的标准附件和工具的数量，应在投标中说明，并报单价。这些费用应包括在该品目的基本价格之内。 11. 对招标品目，除了标准附件外投标人还可提供保证 设备 正常运行的附件，专用工具，它们是该品目的补充部分，需分别报单价和总价，在评标时其总价应计入该品目的基本价格之内。 12. 在技术规格中提出了询问的附件、备件、专用

10、工具和消耗品，需分别报单价和总价，一旦接受，其费用将记入合同。 13. 除了技术规格中买方提出的要求之外，投标人可以推荐某些附件、备件和消耗品，它们是供选购的，应分别报单价和总价，一旦接受，其费用将 计入合同。 14. 维修及技术服务要求详见标书技术需求部分。 15. 投标文件一式六份 (一正五副 )，包括以下文件： 15.1 投标设备及价格明细表 (Summary Sheet of Goods Description) 15.2 技术规格应答及偏离表 (Specification and Deviation Form)（请对技术标书内容逐项应答并填充具体招标编号： 201005 北京大学实验

11、室与设备管理部 .5. 指标） 15.3 技术资料包括样本原件 15.4 原厂商委托书 原件 (适用于投标人为贸易公司者 ) 15.5 资格证明文件 16. 投标文件有效期为自开标之日起的 60 天。投标货币为美元 。接收投标文 件截止时间为 2010 年 4月 7 日上午 9： 00 时。投标商务必在此时间前把密封投标文件送达 ， 逾期恕不接受。 邮编： 100871； 电话： 010-62751412； 传真： 010-62765115 联系人：石铄、张宇波、张洁。 二 评标原则 1. 初步审查及确定 是否基本响应： 1.1 审查投标人所投的标是否完整无误，如单价和总价间有出入，则以单价为

12、准，修正总价；如文字与数字间有出入，则以文字金额为准； 1.2 确定标书是否对招标文件做 出了基本响应，即是否符合招标文件的所有条款，有没有重大偏离。重大偏离 系指实质上影响投标人提供货物数量、质量或交付期，或者指实质性地与招标文件不一致，限制了 招标 方的权利或投标人的义务； 1.3 对标的响应性的确定是依据 投标文件 本身的内容，而不受外因的影响； 1.4 确定为未做 出基本响应的标将予排除，投标人不能在开标之后，通过改正不符之处而使其投标变为能响应。对于投标 文件中 并不构成重大偏离的任何细小的不正规、不一致或参差不齐， 可以忽略 。 2. 评 标方法 ： 本次招标采用综合评分法，是指在

13、最大限度地满足招标文件实质性要求前提下，按照招标文件中规定的各项因素进行综合评审后，以评标总得分最高的投 标人作为中标候选供应商或者中标供应商的评标方法 。 3. 评分因素所占权重： 3.1 投标报价： 35； 3.2 综合商务： 10，考虑投标商 资质状况 ； 考虑投标人供货方案； 考虑投标人 近 3 年 来 做过的与本项目相同或相似的项目业绩 等 ； 3.3 技术性能： 45， 考虑 投标商的 设计 方案 、投标产品的配置 、 性能等； 3.4 售后服务： 10；售后服务，培训等； 4. 标的澄清： 为有助于对 评标文件 进行审查、评价和比较，我们可以请投标人澄清其投标内容。提出澄清的要求

14、与答复均应是书面的，并不得改变投标价格或实质内容。 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .6. 5. 资格后审： 5.1 这次评标中 ，我们将对综合得分最高 投标人和紧接其后的具有评估价的另一投标人进行重点资格后审； 5.2 确定所选择的投标人是否有资 格满意地履行合同，同时对紧接其后的具有评估价的另一投标人也要求做 出类似的确定； 5.3 做 出确定时将考虑投标人的财务、技术、服务和生产能力。审查是以投标人提交的投标人资格证明文件及我们认为必要的其它资料为基础进行的； 5.4 如果确定综合得分最高的 投标人不符合履行合同资格，其标将被排除，随即考虑第二家。 6. 授予合同的

15、准则： 招标机构不承诺最低价中标，将 把合同授予成功的投标人，即所投的标被认定是能 最大限 度的 响应、综合得分最高 且是经资格后审后认为能满意地履行合同的投标人。 7. 废标：遇到下列情况之一时，可以废标： 7.1 全部投标厂商均不具备投标资格； 7.2 全部投标实质上都有不符合招标文件要求； 7.3 缺乏有效的竞争； 7.4 投标价格超过预算，招标人无力支付。 三评标程序 1. 从开标到批准授予合同为止，这一段工作称为评标。 2. 开标后，业务组整理投标文件及有关商务资料，登记分发给评标人进行评标。 3. 评标人检查投标文件的完整性。投标文件应包括以下文件： 3.1 投标设备及价格明细表

16、(Summary Sheet of Goods Description) 3.2 技术规格应答及偏离表 (Specification and Deviation Form) 3.3 技术资料（ 样本原件 ） 3.4 原厂商委托书 原件 (适用于投标人为 代理商或 贸易公司 ) 3.5 资格证明文件 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .7. 第三部分 技术要求 1. 设备名称 单面 紫外光刻机 2. 数量 一台 3. 设备用途说明 紫外光刻机是采用掩膜对准技术，对光刻胶进行曝光，使受紫外光辐照的光刻胶发生性质变化，经过显影定影等处理步骤，从而在样品上形成亚微米精细图形的设备。

17、 紫外光刻系统是研究亚微米尺度器件的 理想工具，对于半导体光电子器件的研究中心紫外光刻技术是最基本也是最重要的一种，主要用于各类微纳米器件制作中微米级精度曝光和高精度的多层套刻。 4. 工作条件 电源 220 VAC / 50 Hz 压缩空气 5 6 bar， 真空 1 bar 好于 1000 级以上的 净化 黄光区 , 温度范围 20C 至 25C ，相对湿度： 45-55% 5. 规格、技术要求及参数 5.1 主机 （ 1）具有可靠稳定的找平系统，对基片厚度进行有效地补偿，工艺过程不产生对位的漂移。 （ 2）微机式 PLC 控制系统。采用触摸屏进行曝光工艺参数设定，操作简便。 5.2 曝光

18、系统 （ 1）曝光波长： UV400 （ 2）曝光面积：大于 100 mm（ 4 英寸） （ 3） * 分辨率：优于 0.8m（光刻胶厚度为 1 微米） （ 4） * 套刻精度：优于 0.5m （ 5） * 光强均匀度： 100mm 直径内优于 3 （ 6） * 具有较高的曝光光强， 365nm 波长输出光强不低于 40mW/cm2 （ 7）曝光模式可支持硬接触、软接触、接近和真空 4 种模式 （ 8）曝光时间 0.1-999.9 秒范围可调 （ 9）曝光方式可进行单次及多次曝光设定。 5.3 对准 显微镜系统 （ 1） 显微镜目镜： 10x （ 2） * 显微镜物镜： 5x， 10x， 20

19、x；各种倍率物镜间转换方便。 （ 3） * 物镜间最小间距： 8mm （ 4）显微镜调节范围： X 及 Y 方向调节范围 40 mm； : 3 度 5.4 夹具与对准系统 （ 1）承 片对准台可用于多种芯片类型，芯片尺寸： 10mm 小片、 2 英寸及 4 英寸圆片。掩膜版尺寸：与芯片尺寸匹配对应。 （ 2） 对准台 行程的范围大于或等于： X: 5mm; Y: 5mm; : 5 度 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .8. （ 3） * 对准台 机械调节分辨率：不低于 0.1 m 5.5 配件 （ 1） 紫外光强计 （ 2） 365nm 紫外光滤色片 （ 3） 易损、易耗

20、备用配件：紫光灯等。 6. 选件（需单独报价） 作为选件，卖方单独提供以下部分配件的报价 （ 1）防震平台（或抗震桌） （ 2）无油真空泵 （ 3）甩胶台 1) * 最大转速 :6000rpm 2) 最高加速度 : 3000rpm/s 3) 转涂时间可调范围 : 0.1-999s 4) * 工艺可多级编程、操作 （ 4） 热板 1) 加热面积大于 4 英寸 2) 温度范围 60 C - 450 C 3) 控温精度 1K；数字显示 （ 5） 等离子体去胶机 1) * 工作频率为 2.45GHz；最高输出功率： 600 W 2) * 反应腔体材料：石英 3) 腔体尺寸：内径： 245 mm ；深：

21、 395 mm；容积： 18 升 4) 腔体门的开关方式： 推拉式 5) 2 路气体管道； 包括电磁阀及 数字式质量流量控制器 6) * 操作系统硬件： 微机系统控制器 ； 10.4” TFT 彩色监视器；图形用户界面 7) * 实时操作系统软件：手动或自动系统操作；多级工艺菜单；软件及硬件的安全互锁；等离子强度监测；工艺参数的实时监测 8) 安全因素 : 设置真空度为微波互锁；防紫外及微波的观察窗 9) 屏蔽网 10) 选配件：抽速不小于 30 m3/h 的真空泵 7. 其他 重要技术指标 应 有相应的证明材料 ，应 对验收指标和检测条件 进行 书面承诺 ，卖方 提供用户清单。 8. 技术服

22、务条款 8.1 技术文件 （ 1）提供安装、运行、维修、检修所需的详尽图纸和技术文件 ,包括电气原理图、全套电路图和各类说明书等 （ 2）提供设备操作手册、维修手册、入场保养手册、设备出厂检验标准等必要的技术资料 8.2 安装与培训 （ 1） 仪器到达用户所在地后，负责安装调试直至达到合同规定的验收指标，安装、验收期不应长于 10 个工作日。 （ 2）卖方负责对最终用户的操作人员和维修人员进行技术培训，包括操 作、日常保养、维护、设备各部位功能介绍、线路分析等。 8.3 售后服务 招标编号： 201005 北京大学实验室与设备管理部 .9. 为了保证开放实验室的正常运作，必须提供好的售后技术支

23、持 （ 1）保修期不少于 12 个月。 在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修。保修期自验收签字之日起计算。包修期满前 1 个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。厂家提供终身维修，并保证零配件的供应。 （ 2）对在质保期内出现故障的零部件应予以更换，对更换或维修过的零部件从更换或维修完成之日起重新计算 12 个月的质保期。 （ 3）质保期后两年内重复出现过的质保期曾出现过的出于设备本身原因产生的故障仍属质保期范围，对更换或维修的零部件从更换或维修完成之日起，也重新计算 12 个月的保证期。 9. 验收 及 维修 仪器到达最

24、终用户现场后，在接到用户安装调试通知后 1 周内，卖方需安排有经验的工程技术人员到用户现场安装、调试仪器，按验收指标逐项测试，直至达到各项验收要求。 维修响应时间： 如在使用过程中发生设备故障， 卖 方 应 在 24 小时之内 对用户的要求 做 出响应 ， 一般问题应在 48 小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应 尽力 在 1 周内解决，实在解决不了，卖方应明确提出解决方案 。 10. 包装要求及运输方式 包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、海运或陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。 11. 交货期（合同签订后 3 个月交货） 12. 交货地点（北京首都机场）