中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所二维X-射线小角散射仪设备采购项目技术部分.docx

1、第八部分 技术部分 一、总 则 1、投标要求 1.1 投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标 名称、目录号。 1.2 投标人提供的货物的技术规格，应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格 有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表） 。如投标人有意隐瞒对规格 要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。 1.3 投标人应提供完整的商务报价表、分项报价表。 2、评标标准 2.1 投标人应提供原材料和产品相关检测或加工的主要仪器设备的名称，型号，厂商及 照片或相关视频展示。 2.2 投标人应提供自身或授权其销售多功能超导材料

2、分子束外延设备的制造商对原材料 及产品进行检测的全部检测报告，包括出厂检测报告。如为委外检测，可提供第三 方检测报告及和第三方机构的合作协议或前一年度第三方机构的检测记录。 2.3 投标人应提供本单位从事多功能超导材料分子束外延设备加工或检测的专业技术人 员团队的简介。 2.4 投标人应提供近 3 年以来本产品典型供应业绩（合同关键页复印件并加盖公章，并 与投标文件同时提交）及其他相关证明材料； 2.5 投标人应提供本单位及授权其销售多功能超导材料分子束外延设备的制造商的营业 执照（需体现包含腔体设计等生产、销售的业务范围） 。代理商经销商需要提供制 造商的授权书或合作协议，合作截止时间不应早

3、于自从开标之日起 18 个月。 2.6 在评标过程中，买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料，投标人务必在接到 此类要求后，在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人，买方有权拒绝其投标。 3、 本技术规格书中标注“”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离 将导致废标。 4、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。 二 货物需求表和具体技术规格 第 1 包 二维 X-射线小角散射仪设备 1 总则： 1.1 提供相应货物的技术规格文件，在应答的品目标题下，表明货物的型号、商标名 称及生产厂家。 1.2 货物的制造和检验，必须是按照现行的中国国家标准，或通用国

4、际标准。 1.3 仪器设备如需特殊工作条件（如：水、电源、磁场强度、特殊温度、湿度、振动 强度等） ，应在相关文件中加以说明。 2. 环境条件： 除该品目在技术要求中另有说明外，所有仪器、设备和装置，均应适合以下条件： a) 工作电压：220V(10)/50Hz, b) 工作环境温度：18 30 c) 工作环境湿度： 75% d) 仪器运行的持久性：长时间连续运行 e) 配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换 插座。 f) 如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件 （如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说

5、 明。 3主要技术指标与要求 二维 X-射线小角散射仪设备需满足 2 英寸（直径）样品测试，向下兼容小尺寸样品。 系统设计充分考虑超高真空下的 GiWAXS/GiSAXS 的薄膜样品测试，整套设备包含一个 标准样品腔室，标准样品腔室需要能够拆卸，并可对接 UHV 超高真空样品室。连接 UHV 超高真空样品腔时，标准样品腔室样品台能够有效避开真空测试腔，满足 UHV 超 高真空下的薄膜样品测试。整套系统采用全自动化的数据采集，小角信号探测器在真空 管路内可沿 X 射线光路方向全程4.5 米连续自动移动，且同时具备在垂直于 X 射线的 水平及竖直两个方向上自动移动。系统具有紧急停机功能，X 射线防

6、护安全连锁等功能。 3.1、X 射线光源一： （1）类型：高亮度微焦斑液态金属靶点光源， #（2）靶材：液态金属 Ga-In 合金，波长 1.35； #（3）最大功率 250 W； （4）电子束焦斑尺寸直径可调，常用 =20m； （5）具备内循环自动水冷； （6）具备 X 射线安全连锁防护； （7）在使用寿命内靶材无需人工维护； 3.2、X 射线光源二： （1）光源类型：高亮度微焦斑固定靶点光源，靶材 Cu #（2）额定功率不大于 30 W #（3）靶上焦斑直径30m（依据 DIN EN 12543-5 标准） ，单位面积的功率密度 8.0 KW/mm 2 （4）冷却方式：内循环水冷 （5）高

7、亮度微焦斑液态金属靶和固定靶双靶光源具有电脑控制全自动切换的功能， 切换后无需调光，投标商须提供投标同型号设备开机运行此项功能的视频进行证明（备 注：该视频如果是从已经销售的设备上获得的，应附上该客户的盖章确认，如果是未销 售设备上获得的，应附上设备制造商的确认证明） ，否则视为负偏离； 3.3、无散射准直系统： #（1）单片三维、单次反射多层膜 X 射线聚焦镜； （2）设备安装及光路优化时，聚焦镜的镜面角度及位置永久固定，且无需手动调节 镜面的旋钮； （3）无散射狭缝准直系统，数量 2 组，不接受 pinhole 针孔准直； （4）样品处最大 X 射线光通量： 2.0 10 9phs/s(液

8、态金属靶光源)； （5）样品处光斑大小在 0.12.0 mm 范围内实时、连续、自动改变，精度0.001 mm； （6）真空度 1mbar，具备干式真空泵，规格30 m 3/h； 3.4、开放式标准样品腔： （1）金属样品腔内部空间大小 80 升（dm 3） ，对于所有的常规及原位样品台， 此样品腔具备可直接进行真空、空气/气氛环境测试的功能，无需内置第二个样品腔，且 入射及散射光路都处于真空，须提供图片资料和说明以证明具备该功能； #（2）样品可自动对中，具有与 X 射线平行的同轴相机，可实时直接观察样品且不 存在视差的功能； 3.5、二维小角信号探测器 #（1）探测器类型：固体硅阵列二维单

9、光子计数探测器，利用固体硅（材料厚度 450 微米）直接转换 X 射线，免维护，不接受通过气体转换 X 射线的探测器 （2）单个小角信号探测器信号采集面积必须 77 mm 79 mm，允许采用第三方 探测器集成，需提供明确的探测器型号及彩页资料 （3）单个像素大小75 微米，且点扩散函数 PSF1 个像素 （4）量子效率（Cu_Ka） 98% （5）像素最大计数率 210 6 cps/pixel #（6）小角探测器工作环境及维护：要求小角探测器在真空环境中运行，测试时前 方无麦拉窗口膜，无任何衰减片，无需通干燥性保护气进行维护 （7）探测器自动采集大面积二维散射图谱的功能：小角探测器在光路中任

10、意位置 处（探测器距离样品 45mm4600mm 的全部范围内，且样品位置要求固定）均可自动采集 400 cm2完整的、原始的二维散射图谱，且样品无需移动或旋转，投标商须提供投标同 型号设备开机运行此项功能的视频进行证明（备注：该视频如果是从已经销售的设备上 获得的，应附上该客户的盖章确认，如果是未销售设备上获得的，应附上设备制造商的 确认证明） ，否则视为负偏离； 3.6、真空散射光路及二维图谱采集系统 （1）散射光路的真空度1mbar，配备干式真空泵 （2）样品到二维探测器的距离（样品位置要求固定）：所有样品环境（包括常规 样品台，变温/拉伸/剪切台等）到探测器的最大距离4600mm，最短

11、55mm(透射)或 70mm(掠入射)； （3）样品到小角探测器距离全自动调节的功能：要求样品沿光路方向的位置固定， 小角探测器在真空管路内沿光路方向自动移动的方式全程（45mm4600mm 距离范围内） 、 连续、自动的调节距离；投标商须提供投标同型号设备开机运行此项功能的视频进行证 明（备注：该视频如果是从已经销售的设备上获得的，应附上该客户的盖章确认，如果 是未销售设备上获得的，应附上设备制造商的确认证明） ，否则视为负偏离； （4）系统自动连续采集二维图谱的极限角度或 q 范围的功能（Cu 靶）：2_min 0.014，q_min 0.01nm-1，2_max70， q_max47 n

12、m-1, 无需手动拆卸管道或 探测器，且样品在沿光路前后的位置固定； #（5）透射模式全方位角二维图谱自动采集的功能：所有的样品台均具备自动采集 2=60或 q=40nm-1（Cu 靶）或 q=46.8nm-1（In 靶）处完整的 360 度全方位角的原始、 完整的二维图谱，且无需垂直于光路旋转样品，需提供实际测试图谱证明并作为设备现 场验收条件； #（6）掠入射模式自动连续测试大 q 范围的功能：样品必须沿光路方向保持位置固 定，掠入射模式中连续自动测试 0.01nm-130nm -1（Cu 靶）或 0.011 nm-134nm -1（In 靶） 的二维图谱； #（7）无 beamstop

13、测试功能：系统支持样品在无 beamstop 下长时间曝光测试功能， 探测器前方无任何类型的 beamstop 或衰减片，投标商必须提供视频证明进行此项指标验 证； （8）系统动态量程 210 10，需提供实测图谱证明并作为设备现场验收条件 （9）探测器到样品的距离 4500 mm 时，可实际分析的纳米粒径范围 500 nm（SiO2 标准纳米粒子，非 2/q_min 计算值） ，且原始数据为二维散射图谱；需提供 实际测试图谱证明； 3.7、常规及原位样品台，包含： （1） 薄膜、块体材料样品架，2 套； #（2） 液体毛细管自动进样器，可同时、自动测量 27 个样品台，2 套； （3） 固体

14、或粉末自动进样器，可同时、自动测量 15 个样品台，2 套； （4） 常规样品台具备磁性底座，方便快速更换； （5） 软件系统可自动识别不同样品架，自动调整位置； （6）高精度水平 GiSAXS/GiWAXS 样品台，数量 1 套： a）Omega 轴自动旋转范围-3 +5，Ry 旋转范围3，精度不低于 0.002； b）样品在沿水平 X /垂直 Z 轴自动移动，以调整样品在光束中的位置； c) 轴(绕 Z 轴旋转）自动旋转范围-91 +91,精度不低于 0.001； # d）软件可以自动、批量测试 GiSAXS/GiWAXS 样品，数量 5 个样品； （7）高低温样品台，数量 1 套： #

15、a）可以测试液体、固体样品，以及 GiSAXS/GiWAXS 测试 b) 温度范围：-150 350 c) 控温精度： 0.1； （8）拉伸样品台，数量 1 套： a) 拉力范围 0-200N，拉伸动力精度 0.01N b）拉伸速度 1-1000 m/s c）可同时变温，-150250； （9）气氛反应样品仓，数量 1 套：可实现不同气氛（氮气、氩气、氢气、氦气等） ， 不同温度下样品原位测试，可承受压力不小于 4bar； 3.8、 软件： #（1）绝对强度测试：无需标样，小角探测器可直接自动计算绝对强度功能，用于 定量计算纳米粒子的体积分数、比表面积等； #（2）实时二维散射图谱转一维数据功

16、能：系统数据采集软件必须具备连续实时二 维图谱转一维曲线的功能；投标商必须提供视频证明进行此项指标验证； #（3）去除宇宙背景的功能：除了利用探测器自身的能量阈值去除高能宇宙背景射 线噪音外，还应具备实时自动去除其他能量区间的宇宙背景射线噪音的功能，必须提供 实测数据证明； （4）解谱拟合软件：提供专业的解谱拟合软件，对于纳米粒子和液体样品可计算颗 粒的旋转半径、颗粒尺寸大小及分布、并可分析颗粒形状（如球状、椭圆状、柱状等） ； 且提供 5 年的免费更新及服务支持。 （5）仪器配套电脑配置为：DELL、TOUR 3620、i5-6500 处理器、8G 内存、2T 硬盘、 集成显卡、KM714

17、键盘、光驱、Ubuntu Linux 系统，仪器运行、控制必需全套软件。 4. 技术文件： 4.1 卖方应提供全套、完整的电子版技术资料，包括仪器说明书、操作手册、仪器校 准方法、维修说明、结构图、电路总框图及用于检查维修的线路图，仪器图纸等。 4.2 厂家需根据纳米真空互联实验站的技术规范，提供与真空主管道系统以及超高真 空二维 X-射线小角散射仪设备互连对接的参考图纸，以便评价互联可行性，确保二维 X- 射线小角散射仪设备与主管道的对接。签订合同 2 个月内，提供正式图纸；同时配合真 空互联实验站工作人员对图纸进行改进，直至完成对接。 5. 仪器安装、验收及培训： 整套二维 X-射线小角散

18、射仪系统的安装调试和验收均由生产厂家派工程师到用户 现场进行。调试完成后，由生产厂家和用户一起对设备进行验收，验收包括 GiWAX/ GiSAXS 样品台, 小角信号探测器沿着 X 射线方向的自动移动, 样品台的切换等功能验收。 5.1 在仪器到达前 12 个月，卖方应通知用户水、电、气及其他仪器必备辅助设施 的具体要求，从而让用户提前做好仪器安装准备。 5.2 仪器到货 15 日内，由生产厂家派工程师到用户现场进行安装调试，校准和初始 试运行，并免费进行仪器操作和维护培训，使被培训人员达到能够熟练使用。 5.3 卖方应定期举办研讨班，至少两年一次，由高级应用人员讲解，对用户免费。 6. 性能

19、试验与质量保证： X 射线光源，样品腔功能，二维探测器指标，真空散射光路长度，探测器在真 空管路内的自动移动，光路准直 (包括光斑大小自动可调和样品自动队中 )，高低温样 品台，拉伸样品台， GiWAXS/GiSAXS 样品台，整个系统控制功能和 X 射线安全连 续功能，系统操作控制软件，水冷和标准样品腔的多样品测试等技术参数达到要求。 此外应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查，并出具检验证 明，如有缺失，应负责赔偿。 7. 保修期及售后服务工作 7.1 整个系统无偿保修期为自验收合格签字之日起 1 年。 7.2 在保修期内，卖方工程师在收到用户的维修服务要求后 4 小时内

20、做出回应，2 到 5 个工作日内到达用户现场进行维修，除需进口仪器配件外，应使仪器恢复正常 使用。保修期内，仪器的零配件费用、人工费用、差旅费用(耗材除外)均由卖方 承担，因使用环境及人为因素（自然灾害，人为故意损坏）造成设备损坏不在 保修范围之内。 7.3 卖方在国内应有专职维修工程师和备件库。 7.4 卖方负责设备终身维修。 7.5 软件升级：卖方应向用户提供在硬件许可条件下的软件升级服务。 #7.6 针对纳米真空互联实验站的互联和二维 X-射线小角散射仪设备的对接联调、样 品传递等提供小角散射仪样品腔对接部位的图纸及标准样品腔相关的设计。 8. 订货数量：一套 9. 交货地点和方式：CIP 苏州工业园区海关 10. 交货时间：合同生效后 5 个月内