1、表面异物分析 目的： 当材料及零部件表面出现未知物质，不能确定其成分及来源时，可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。 分析方法： 根据样品实际情况，以下分析方法可供选用。 部分案例图片： 仪器名称 信号检测 元素测定 检测限 深度分辨率 适用范围 扫描电子显微镜 （SEM ） 二次及背向散射电子 &X 射线 B-U (EDS mode) 0.1 - 1 at% 0.5 - 3 m (EDS) 高辨析率成像 元素微观分析及颗粒特征化描述 X射线能谱仪（EDS） 二次背向散射电子&X 射线 B-U 0.1 1 at% 0.5 3 m 小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；
2、颗粒分析（300nm ） 显微红外显微镜 （FTIR） 红外线吸收 分子群 0.1 - 1 wt% 0.1 - 2.5 m 污染物分析中识别有机化合物的分子结构 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别） 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 （Si-H vs. N- H） 污染物分析（析取、除过气的产品，残余物） 拉曼光谱（Raman ） 拉曼散射 化学及分子键联 资料 =1 wt% 共焦模式 1 到 5 m 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和 无机化合物的分子结构 拉曼，碳层特征 （石墨、金刚石 ） 非共价键联压焊(复合体、金属键联) 定位(随机 v. 有组织的结构) 俄歇电子
3、能谱仪 （AES ） 来自表面附近的 Auger 电子 Li-U 0.1-1%亚单层 20 200 侧面分布 模式 缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄 膜成分分析 X射线光电子能谱仪 （XPS ） 来自表面原子附近的光 电子 Li-U 化学键联信 息 0.01 - 1 at% sub- monolayer 20 - 200 （剖析模 式） 10 - 100 (表面分 析） 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析 测量表面成分及化学状态信息 薄膜成份的深度剖面 硅 氧氮化物厚度和测量剂量 薄膜氧化物厚度测量（SiO2, Al2O3 等. ） 飞行时间二次离子质谱 仪（TOF-SIMS） 分子和元素种类 整个周期表，加 分子种类 107 - 1010at/cm2 sub- monolayer 1 - 3 monolayers (Static mode) 有机材料和无机材料的表面微量分析 来自表面的大量光谱 表面离子成像 塑料断口红色颗粒物分析 塑料表面白色粉末成分分析 连接端子 pin 针表面异物分析 金手指端部表面异物分析 镀金管脚表面异物分析 PCB 表面异物成分分析
