洁净室施工技术总结(中建一局建设发展公司年度课题).docx

1、中建一局建设发展公司年度课题洁净室施工技术总结中建一局建设发展公司2006.12中建一局建设发展公司年度课题目录洁净室施工技术总结第一部分 洁净工程综述第一章 洁净技术概述 . 1第二章 国内外主要的洁净室标准 . 5第三章 洁净室的分类 . 10第四章 洁净厂房的构造与组成 . 16第五章 净化空调系统及其组成 . 18第六章 洁净厂房的公用动力设施 . 27第七章 洁净室的施工及管理 . 29第二部分 洁净室（厂房）的建筑装饰施工技术第一章 洁净室的建筑材料 . 41第二章 洁净室的建筑装饰施工 . 47第三部分 洁净室的机电安装施工技术第一章 净化空调系统的施工安装 . 57第二章 洁净

2、室的低压配电及照明 . 64第四部分 洁净室的检测、调试第一章 洁净室的检测内容及要求 . 69第二章 洁净室竣工验收调试 . 72第三章 洁净室各参数的主要检定仪表 . 76第四章 洁净室各项指标的检测方法、程序规则、判定标准 . 77第五章 洁净室三项必测项目及其应用 . 90第五部分 洁净室的工程实例第一章 中国北京经济技术开发区 55 厂区 BOE OT B1 工程 . 91第二章 无锡海力士意法半导体电路厂房项目 . 100第六部分 附件附件 1 洁净室彩钢石膏壁板安装工法附件 2 十万级洁净室隔墙转角带翼连接件施工工法附件 3 环氧树脂自流平地面施工工法前言近年来，我公司相继跟踪并

3、承接了一些工业厂房项目，如 2000 年第一制药项目、2003 年富士星光项目，2004 年京东方项目，天津高压硅堆项目，2005 年无锡海力士 8 寸、12 寸芯片厂项目，其间还参与了一些未中标的净化厂房工程如中芯国际等工程的投标。这些建筑对洁净室施工工艺有着严格的技术要求，通过这些项目的实施公司项目施工管理人员在这方面也积累了一定的施工经验，经历了一些实践教训，但由于工作分工和专业的不同，这些宝贵的知识仅积累在少数人的头脑中，还有很多施工管理人员很少了解或仅了解其中一小部分的内容，本着少走弯路、互相学习、提高公司整体施工管理水平的原则，同时结合公司 2006 年关于“积极开展机电高端市场的

4、拓展，在各方面进行对超净化市场的资源储备”的管理目标，我们将这方面的现场实践经历和国家的标准、规范、法规法令以及北京市行政主管部门的管理要求等相结合，编制了洁净室施工技术总结，供大家参考。由于时间比较仓促和编者的水平有限，难免存在缺点和错误，热切地希望大家批评、指正，我们会不断地进行修正、完善。编写过程中得到了技术发展部、机电部、许多项目施工管理人员的鼎力支持，在此特致以诚挚的谢意！编制单位：中建一局建设发展公司技术发展部、机电工程部审核人：高俊峰、戴龙文主编：高惠润参与编制人：黄锋、郑玉柱、刘一兰中建一局建设发展公司年度课题第一章洁净技术概述洁净室施工技术总结一、概述洁净室就是洁净的室，是悬

5、浮粒子浓度受控的房间，是进入、产生、滞留于室内的粒子最少，而且室内其他参数，如温度、湿度、压差等按产品生产的需要受控的房间。洁净技术及污染控制技术（Contamination Control），其全面的概念应是：对加工或处理对象在加工处理过程中，由于污染物质的存在，影响对象的成功率，而对到达对象表面的污染物质进行控制后，能提高对象的成功率，此有效控制污染物质（亦包括加工或处理对象带有对人体有害的污染物质需进行处理及隔离）的技术称为洁净技术或污染控制。洁净技术与污染物质的控制方法因加工处理的对象而异。如精密机械加工要求控制工件表面的粒子尺寸及浓度，一般都以控制空气中的粒子尺寸及其浓度来解决；医疗

6、、卫生、制药等以控制空气中的粒子尺寸及其浓度和微生物数来解决；而IC 生产随着集成度的提高，线宽的减少，当前要求严格控制硅表面的粒子尺寸及其浓度、有机物质、金属物质、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。因此除了控制洁净室空气中的粒子尺寸及其浓度并有机物质外，还须控制工艺介质如高纯水、高纯气体、特种气体及化学品（液）内的粒子尺寸及其浓度、金属物质、有机物质及某些气体不纯物质。因此，洁净技术涉及的内容范围是很广的，可以是洁净室技术的研究、开发；洁净室各系统（壁板系统、吊顶系统、地板系统、空气净化及空调系统）以及其它服务系统（如洁净工作服、洁净室专用抹布等消耗品）的研究、开发、设计、应用设计、安装、运

7、行及管理等的介绍及经验总结；洁净厂房施工技术仅为此领域内容之一。国内外洁净技术的发展是随着科学技术的发展、工业产品的日新月异，特别是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展而不断发展；是按照产品生产对“洁净生产环境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制设施的日益严格而不断发展。洁净厂房的设计与施工，是一门跨专业、跨部门、跨学科的综合性的新兴分支学科，它与许多行业、很多学科有着千丝万缕的联系，又有着自己独特的特点。在洁净厂房内生产的相关产品即象征着它的高品质与其高科技。此项施工技术适用于制药、医疗、核电站、微电子、化妆品、食品与饮料、实验室、航空、生物工程、精密机械加工、印刷等有洁净等级要求

8、的工程施工。近 20 年来，中国洁净技术蕴藏着巨大的市场空间，每年有不少于 165 亿人民币（约 20 亿美元）的市场份额，归纳起来在各个领域的分布大致如下：第 1 页中建一局建设发展公司年度课题信息产业微电子信息产业光电子医药、生物工程医疗卫生其他30 亿人民币/年20 亿人民币/年45 亿人民币/年60 亿人民币/年10 亿人民币/年洁净室施工技术总结总之，洁净技术正日益被相关行业越来越多的有识之士所重视和广泛研究。二、洁净室（厂房）及相关设施的内容洁净室的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子，即应不引入或少引入微粒，应不产生或少产生微粒，应不滞留或少滞留微粒等；应对洁净室内的温度、湿

9、度、压力等参数按产品生产要求进行控制；根据产品生产要求还需对洁净室内的气流分布、气流速度以及噪声、振动、静电等进行控制。所以，洁净室（厂房）及相关设施大致可以分为八类：（1）空气净化设备（制冷设备、空调机组、过滤器、风淋室、洁净台）；（2）洁净室系统（地面/地板、吊顶/FFU、金属壁板、门、传达窗/观察窗、灯具）；（3）工艺介质供应系统（含设备）（纯水、纯气、特气、化学品）；（4）微振控制及静电防护；（5）洁净服系统、洁净室用品（台、椅、柜、架、吸尘器）、洁净室消耗品；（6）检测仪器；（7）环保设施（废气处理系统、废水处理系统）；（8）专用设备（生物隔离装置、微环境）。电子产品生产对生产环境的

10、控制要求，不仅对房间的空气洁净程度有严格要求，而且还对与电子产品生产过程直接接触的各种高纯介质高纯水、高纯气体、高纯化学品等的纯度杂质含量等要求控制得十分严格；某些电子产品对振动、静电、电磁干扰、电力供应等也有较为严格的要求等。三、洁净室（厂房）与一般空调房间的区别第 2 页项目一般空调房间洁净室目的对温、湿度、风速空气成分等要进行控制。除空调房间参数以外重点要控制空气中的粒子浓度手段采用粗、中效过滤和热湿交换设备除空调房间手段外还要进行高效超高效过滤器过滤，对活的粒子还要灭菌、消毒送风量一般降温 8-10 次/h 换气单向流洁净室 400-600 次/h 换气非单向流中建一局建设发展公司年度

11、课题洁净室施工技术总结四、洁净室（厂房）的建造程序按照国际标准 ISO14644-4，洁净厂房的建造应经过工程设计、工程施工安装、工程验收等过程，具体的建造程序如下图 1-1 所示：批准设计批准施工验收功能验收使用验收建造阶段概念设计设计图纸及说明设施施工竣工的设施现场组装设备安装好的设施商定运转的生产设备全面运转的设施占用状态无空态静态动态在场人员、产品生产*竣工的设施包括在设备厂家、现场安装的验收图 1-1 洁净室（厂房）的建造程序五、洁净厂房建造的特点1、洁净厂房对室内的温度、相对湿度、洁净度、压力、噪声等环境参数都有严格的要求。生产工艺不同对温湿度及其精度、洁净度等参数的要求也不同。例

12、如某集成电路前工序的洁净厂房中要求的参数是温度 230.2，相对湿度 453，洁净度 1 级（0.1m）；一般要求的参数是温度 231，相对湿度 505，洁净度 100 级、1000 级、10000 级。第 3 页恒温房间 10-15 次/h 换气洁净室 15-60 次/h 换气室内压力室内应有正压，但不是重要的指标室内必须有正压，防止外部灰尘渗入；生物安全须维持负压。维护管理定期检测温度、湿度除温、湿度检测以外还要检测洁净度能量消耗2冷量 100-200w/m2电量 50-100w/m2冷量 400-1500w/m2电量 150-1500w/m人物进出的控制没有特别控制手段人进入要换鞋、更衣

13、、吹淋有时还要淋浴；物进入要擦拭，吹淋等人流、物流分开、洁污分流中建一局建设发展公司年度课题洁净室施工技术总结2、洁净厂房建造的初投资高为满足生产工艺对环境的要求，建造洁净厂房时要在空调恒温恒湿和空气净化方面采取必要的措施，再加上防静电、防微振、防电磁等在洁净建筑上的特殊处理同时还要为洁净厂房提供高纯水、高纯气和高纯溶剂，因此洁净厂房的投资很高。2用大约为 20 亿人民币，而核心部分洁净厂房单位面积的建造费高达 50000 元/m2，十分昂贵。3、洁净厂房的运行费用高洁净厂房的温、湿度、洁净度要求高，新风量和送风量大。因此，洁净厂房运行时空气的输送和制冷、制热消耗的能量很大，运行费很高。3约

14、450 次/h，非单向流的换气量约 42 次/h，就其输送空气的耗电量约 3840kw/h，全年按 300 天，每天按 24 小时，每度电按 0.6 元/度计算，全年输送空气所花费用约 1659 万元。洁净厂房的空调冷量消耗很大，对于电子工业的洁净厂房而言，由于设备产热量高，排风量大，单位面积耗冷量高，对于 1 级和 100 级洁净厂房的单位面积耗冷量 超 过 1000w/m2 ； 1000 级 和 10000 级 洁 净 厂 房 的 单 位 面 积 耗 冷 量 大 约 为500-700w/m2。由于洁净厂房内发热量大，大多数情况下冬季也要开冷冻机，如果冬季按 120 天，冬季耗冷量为夏季的

15、1/3 计算，上述洁净厂房供冷所耗电量10000kw/h，全年供冷的电费为 4000 万元-5000 万元。从上可见，洁净厂房的空调、净化的运行费用是非常高的。4、洁净厂房的设计、建造要安全、可靠，还应具有一定的灵活性。如前所述建造洁净厂房要投入巨大的资金，使用洁净厂房还要花费昂贵的运行费用，其目的是洁净厂房能为生产提供可靠的高成品率的环境条件，能创造更大的经济和社会效益。同时当前科学技术发展非常迅速，产品的更新换代频繁，尤其微电子工业更加突出，每两年上一个台阶，这就要求设计和建造洁净厂房时要考虑到工艺生产的发展，使洁净厂房能适应工艺的变化，具有很好的灵活性。第 4 页以前述的集成电路前工序的

16、洁净厂房为例，12000m 的洁净厂房，其建厂的基建费还是上述的洁净厂房，送风量高达 6400000m /h，其中单向流洁净厂房换气量中建一局建设发展公司年度课题第二章国内外主要的洁净室标准洁净室施工技术总结近年来，随着科学技术的发展，尤其是超大规模集成电路发展的需要，电子产品的不断升级带来了洁净技术的不断发展，从空气洁净度等级的 3 个等级、控制粒径 0.5m 发展到现在的国际标准 ISO14644-1 中的空气洁净度基本等级 9 级、控制粒径分为 0.1m、0.2m、0.3m、0.4m、0.5m 等多种粒径要求。洁净室标准不断进行着修改、变化以适应产品和科学技术的发展。一、ISO 系列国际

17、标准（1）由全球国际标准化团体联合 ISO/TK209 洁净室及相关受控环境技术委员会编制的洁净室标准系列，标准的内容及编写、实施情况如下表 2-1：表 2-1洁净室的 ISO 标准（2）ISO14644-1 空气洁净度等级标准空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低，含尘浓度低则空气洁净度高。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每 m3空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。第 5 页ISO 标准系列标准内容编制阶段标准实施年份备注ISO14644-1空气洁净度等级划分实施1999自 2004 年修订ISO

18、14644-2认证与 ISO14644-1 连续相符性的测试和监测技术条件实施2000自 2005 年起修订ISO14644-3计量与测试方法标准草案待定状态ISO14644-4洁净室的设计、施工和启动实施2001自 2006 年起修订ISO14644-5洁净室的运行国际标准最终草案ISO14644-6术语和定义初期阶段ISO14644-7隔离屏障国际标准最终草案ISO14644-8分子污染初期阶段ISO14644-9洁净化学品（液体）待定标准ISO14644-10洁净水待定标准ISO14644-11洁净气体待定标准ISO14644-12洁净表面待定标准ISO14698-1.2生物污染控制-总

19、原则国际标准最终草案ISO14698-2生物污染控制-生物污染数据的评价和解释国际标准最终草案ISO14698-3测量惰性表面洁净及灭菌工艺过程中效率的操作法ISO 技术报告中建一局建设发展公司年度课题洁净室施工技术总结表 2-2ISO14644-1空气洁净度等级二、世界卫生组织（WHO）GMP 标准（1992 年）灭菌药品生产操作区的环境空气洁净度要求，分为 A、B、C、D 四级，空气洁净度等级分类见下表 2-3：表 2-3WHO GMP 灭菌产品生产的空气洁净度分类表三、欧共体（EV）GMP 标准（1997 年）灭菌药品生产操作区的空气洁净度等级要求，分为 A、B、C、D 四级，空气洁净度

20、等级分类见下表 2-4：表 2-4EV GMP 灭菌药品生产环境的空气洁净度分类四、我国的洁净室标准（1）国家标准洁净厂房设计规范（GB50073-2001）第 6 页ISO 分级序数（N）3大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/m ）0.1m0.2m0.3m0.5m1m5mISO Class1102ISO Class210024104ISO Class31000237102358ISO Class4100002370102035283ISO Class51000002370010200352083229ISO Class61000000237000102000352008320293ISO

21、 Class7352000832002930ISO Class8352000083200029300ISO Class9352000008320000293000空气洁净度等级静态动态3微粒最大允许数（pc/m ）等于或大于0.5m5m0.5m5mA3500035000B350003500002000C350000200035000020000D350000020000依运行情况定依运行情况定空气洁净度等级3尘粒的最大允许数/m微生物的最大允许数3/m0.5-5m5mA（单向流净化工作台）3500无1B3500无5C350000200010D350000020000500中建一局建设发展公司年

22、度课题洁净室施工技术总结该规范是全国各行各业洁净厂房设计通用的国家标准，适用于“新建、扩建和改建的洁净厂房设计”，其中的洁净室（区）空气洁净度等级等同采用国际标准ISO14644-1 的在关规定。（2）药品生产质量管理规范（GMP）（1998 年修订）该规范是由国家药品监督管理局发布，自 1999 年 8 月 1 日起施行。它是我国药品生产和质量管理的基本准则。适用于药品制剂生产的全过程、原料药生产中影响成品质量的关键工序。其中洁净室（区）空气洁净度级别划分见下表 2-5：表 2-5洁净室（区）空气洁净度级别表（3）洁净厂房施工及验收规范（JGJ71-90）该规范是由国家建设部发布的行业标准，

23、自 1991 年 7 月实施以来，对统一洁净室的施工要求和严格进行工程验收是十分有效的，在统一检测方法、提高洁净室的建造质量等方面起了十分重要的作用。（4）医药工业洁净厂房设计规范（1996 年）该规范是由国家医药管理局发布的行业标准，自 1997 年 1 月起实施，目前正在修订中。（5）国家卫生部医院洁净手术部建筑技术规范（GB50333-2002）该规范是从 2002 年 12 月起施行的。医院洁净手术部由洁净手术室和辅助用房组成，洁净手术部用房分为 4 级，并以空气洁净度级别作为必要保障条件。主要洁净辅助用房也分为 4 级。不同等级的洁净手术室和辅助用房的适用范围如下表 2-6：表 2-

24、6洁净手术室和辅助用房的适用场所第 7 页洁净度级别3尘粒的最大允许数/m微生物最大允许数0.5m5m3浮游菌/m沉降菌/皿100 级350005110000 级35000020001003100000 级35000002000050010300000 级1050000060000100015类别等级适用场所洁净手术室级特别洁净手术室用于关节置换手术、器官移植手术及脑外科、心脏外科、眼科等手术中的无菌手术级标准洁净手术室用于胸外科、整形外科、泌尿外科、肝胆胰外科、骨外科和普通外科中的一类切口无菌手术。中建一局建设发展公司年度课题洁净室施工技术总结各类洁净手术室、洁净辅助用房的等级标准的规定见下

25、表 2-7、表 2-8：表 2-7表 2-8洁净手术室的等级标准（空态或静态）洁净辅助用房的等级标准（空态或静态）（6）兽药生产质量管理规范（试行）（2002 年）第 8 页等级手术室名称沉降法（浮游法）细菌最大平均浓度表面最大染菌密度3（个/cm ）空气洁净度级别手术区周边区手术区周边区特别洁净手术室0.2 个/30min390 皿(5 个/m )0.4 个/30min390 皿(10 个/m )5100 级1000 级标准洁净手术室0.75 个/30min390 皿(25 个/m )1.5 个/30min390 皿(50 个/m )51000 级10000 级一般洁净手术室2 个/30mi

26、n390 皿(75 个/m )4 个/30min390 皿(150 个/m )510000 级100000 级准洁净手术室35 个/30min，90 皿(175 个/m )5300000 级注：1、浮游法的细菌最大平均浓度采用括号内数值。细菌浓度是直接所测的结果，不是沉降法和浮游法互相换算的结果。2、级眼科专用手术室周边区按 10000 级要求。等级沉降法（浮游法）细菌最大平均浓度表面最大染菌3密度（个/cm ）空气洁净度级别0.2 个/30min390 皿(5 个/m )0.4 个/30min390 皿(10 个/m )5100 级1000 级0.75 个/30min390 皿(25 个/m

27、 )1.5 个/30min390 皿(50 个/m )51000 级10000 级2 个/30min390 皿(75 个/m )4 个/30min390 皿(150 个/m )510000 级100000 级5 个/30min，90 皿3(175 个/m )5300000 级注：浮游法的细菌最大平均浓度采用括号数值。细菌浓度是直接所测的结果，不是沉降法和浮游法互相换算的结果。级一般洁净手术室用于普通外科（除去一类切口手术）、妇产科等手术级准洁净手术室用于肛肠外科及污染类等手术洁净辅助用房级用于需要无菌操作的特殊实验用房级用于体外循环灌注准备用房级用于净手间、消毒准备间、一次性物品、无菌敷料及器

28、械与精密仪器的存放间、护士站、洁净走廊，重症护理单元（ICU）级用于恢复（麻醉苏醒）室与更衣室（二更）、洁净走廊等洁净场所。中建一局建设发展公司年度课题洁净室施工技术总结该规范是由国家农业部在 2002 年 3 月发布的，规定了我国兽药行业实施 GMP管理的要求，兽药生产洁净室（区）的空气洁净度划分为 100 级、10000 级、100000级、300000 级等共四个级别。（7）国家标准实验动物环境与设施（GB14925-2001）该标准为强制性标准，将实验动物繁育、生产设施环境指标与动物实验设施（设备）环境指标分开规定。（8）电子工厂洁净厂房设计规范（正在起草中）（9）洁净室工程涉及的其他

29、的相关规范标准，见下表 2-9：表 2-9洁净室工程涉及的其他的相关规范标准第 9 页序号标准类别标准名称标准代号实施时间备注1国标室内空气质量标准GB 18883-20022002 年工业洁净室2国标高效空气过滤器GB 13554-921992 年工业洁净室3国标空气过滤器GB/T14295-931993 年工业洁净室4国标实验室 生物安全通用要求GB 19489-20042004 年生物洁净室5国标医药工业洁净室（区）悬浮粒子、浮游菌和沉降菌的测试方法GB/T 16292-16294-19961996 年生物洁净室6国标生物安全实验室建筑技术规范B 50346-20042004 年生物洁净

30、室7国标实验动物 环境与设施GB 14925-20012001 年生物洁净室8国标医院消毒卫生标准GB 15982-951995 年生物洁净室9国标污染综合排放标准GB 8978-19961996 年生物洁净室10国标医疗机构污水排放标准GB 18466-20012001 年生物洁净室11国标保健食品良好生产规范GB 17405-19981998 年生物洁净室12国标采暖通风与空气调节设计规范GB 50019-20032003 年13国标民用建筑电气设计规范JGJ 71-901990 年14国标供配电系统设计规范GB 50052-951995 年15国标低压配电设计规范GB 50054-951

31、995 年16国标高层民用建筑设计防火规范GB 513045-951995 年17国标建筑设计防火规范GB 50073-20012001 年18国标火灾自动报警系统设计规范GBJ 16-871987 年19国标压缩空气站设计规范GB 50029-20032003 年中建一局建设发展公司年度课题第三章洁净室的分类洁净室施工技术总结洁净室的分类方法很多，但最多的分类方法是按洁净室的使用性质和洁净室的气流流型来分。一、按照使用性质划分按使用性质不同，洁净室大致可以分为三种类型：工业洁净室。例如电子工业、机械工业、化工等用的洁净室。生物洁净室。例如生物制药、食品、实验动物饲养，洁净手术部等。生物安全实

32、验室。研究高危害性、传染性、病菌病毒等微生物的洁净室。其中，建筑行业比较容易接触到的是工业洁净室和生物洁净室，这两种洁净室具有不同的要求和特点，差异主要见下表 3-1：表 3-1工业洁净室和生物洁净室的差异第 10 页工业洁净室生物洁净室控制对象灰尘、死的粒子、只有一次污染微生物、活的粒子、不断生长繁殖，会诱发二次污染，代谢物粪便的污染室内主要污染源人体发尘人体发菌对工艺的危害在关键部位一粒灰尘就可造成极大危害一般有害微生物达到一定浓度以后才能构成危害控制目标控制有害粒径粒子的浓度，即洁净度控制微生物的生产、繁殖、传播，同时要控制其代谢产物控制方法和措施需除去0.1-0.5m 的尘埃粒子，主要

33、采用三级或四级空气过滤技术，采用粗效、中效、高效、超高效、化学等不同用途的过滤器需除去的微生物粒径较大，主要采用过滤、灭菌技术，铲除微生物生长的条件、控制微生物生产。切断污染传播途径。规范ISO14644 系列洁净室与相关受控环境规范GMP 标准ISO14698 生物安全规范微生物与生物医学实验室安全手册对建筑材料的要求室内仅需经常擦抹以免积尘，建筑材料及设备以不产尘、不积尘、耐磨擦为原则室内需定期消毒、灭菌、薰蒸，建筑材料及设备须耐水、能承受药物腐蚀，且不提供微生物滋生条件等人员和设备进入的控制要求人员进入要换鞋、更衣、吹淋，设备进入要清扫、擦拭。人物分流、洁污分流人员进入要换鞋、更衣、淋浴

34、、灭菌，设备进入要灭菌；空气送入要过滤。人物分流，洁污分流压力正压负压运行（动态）检测灰尘可用粒子计数器检测打印，记录瞬时值不能检测瞬时值，测试样品要经过48 小时的培养才能读出菌落数量验收系统调试，洁净室空态、静态、动态测试以及在线测量评价、认证、安全手册编制科技终端级洁净室超大规模集成电路生物安全 4 级实验室生命科学研究高危病毒和不明物质中建一局建设发展公司年度课题洁净室施工技术总结二、按照洁净室的气流流型划分按洁净室的气流流型划分为三种类型：单向流洁净室（垂直单向流和水平单向流）。非单向流洁净室。混合流洁净室（即单向流和非单向流组合气流构成的洁净室。1、单向流洁净室单向流洁净室也称为层

35、流洁净室，其气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧，它是将室内污染源散发出的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间，送入的洁净空气对污染源起到隔离作用。单向流洁净室分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室（如下表 3-2 所示）。表 3-2两种单向流洁净室的示意图垂直单向流洁净室已广泛用于电子产品生产所需 ISO5 级或更严要求的洁净度等级的洁净室中，目前它与微环境或各种类型的隔离装置配合使用可以满足超大规模集成电路生产所需 ISO1 级、控制粒径 0.1m 甚至更严格的洁净室中应用。垂直单向流洁净室具有构造简洁、灵活性好、容易达到很严的洁净度等级；但是建造、运行成本较高。水平单向流洁净室是一面侧墙满布高效过滤器送风口送风，在相对的侧墙上或洁净室内设隔墙并在同一侧隔墙或在两侧隔墙上设回风格栅（或中效器）回风。这类洁净室的特点是：建筑层高较小，便于布置灯具，高效过滤器安装、维修容易，但沿气流方向的洁净度不同，下风侧空气受上风侧的设备、人员的污染等。第 11 页类型图示说明水平单向流洁净室1-送风静压小室2-高效过滤器3-格栅4-回风静压小室