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关于HV CMOS.doc

.关于HV CMOS和DMOS的困惑alchemist 发表于: 2009-5-19 23:03 来源:半导体技术天地一直很困惑:一般foundry对于高压器件有两条路线,1)HV CMOS工艺,一般用Double Diffusion,一般能到30V,再高就不行了;2)BCD工艺,高压一般用DMOS,一般20V、40V,更高电压也有。所谓存在的就是合理的,这两种技术能同时并存并且齐头并进的发展,肯定有它们各自的优势和适合的应用,有没有高手能解释比较一下!我的理解(猜的):1)HVCMOS采用的是对称的结构(当然也可以有非对称管),Vgs和Vds基本相当,电路设计不受限制,应用上灵活,管子特性比较好,IV curve的形状和低压的MOS管没太大的差别;但需要额外增加较多的mask和工艺环节,同时最高电压有上限,32V顶天了。2)DMOS采用非对称结构,Vgs远小于Vds,电路设计受限制,管子特性应该没有HVMOS的好;电压可以很高,Vds 60V、100V都不成问题,增加的mask应该比HVCMOS工艺的少。不知道猜得对不对,请明白人澄清

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