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离子注入技术的发展及其在材料方面的应用.doc

.离子注入技术的发展及其在材料方面的应用摘 要离子注入是一项新兴的材料表面改性技术。它可以使材料表面的机械、物理、化学、电学等性能发生变化。有效地提高材料表面的硬度以及耐磨擦、耐磨损、抗腐蚀、抗疲劳等能力,延长材料使用寿命,增加经济收益。本文介绍了离子注入的基本原理以及技术特点,描述了离子注入在金属材料表面改性、半导体材料以及超导方面的技术应用,并展望了离子注入的应用前景。关键词:离子注入;材 料;表面改性;半导体;超 导一、绪 论离子注入技术于七十年代初首先成功地应用于半导体工业,成为制备大规模集成电路必不可少的手段之一。八十年代起人们把离子注入技术开始用于金属材料的表面改性。由于该项技术本身的独特优点、良好的改性效果以及潜在的巨大经济效益,近年来吸引了愈来愈多的研究者开始从事该项技术的开发研究。日前,随着应用范围的日益扩大和理论研究的不断深入,离子注入技术日趋成熟。近年来离子注入的方式也更加多样化,除了常规离子注入外,由此派生出的其它注入方法

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