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热偶真空计系统设计总结报告.doc

.热偶真空计系统设计总结报告(王永昌 , 张斌鑫, 王海程, 张谢祥;褚向前;机械设计制造及其自动化10-11班机械与汽车工程学院)摘要:在真空度测量方面, 目前,已有从105Pa到 10-11 Pa的各种真空计。当今,根据真空应用中对真空计使用要求,热导真空计在工业的真空测量中占有重要地位,主要用于冶金、机械、化工、电子等科研和生产领域中的粗、低真空的测量。而其中数字式热偶真空计应用广泛,产品种类也比较多,但在宽量程、可靠性、抗氧化性等方面还有一定的提升空间。因此,数字式热偶真空计的研究设计有着重要的实际意义。关键词:热电偶;真空计;真空度;一项目背景及研究内容真空科学与技术主要包括真空的获得和真空度的测量两个方面。真空的获得,即真空的产生和保持,它一般由机械设备实现,如利用机械真空泵等。真空度的测量,主要由传感器及其相应部件组成的真空测量设备完成。准确测量真空度、控制真空度对生产、生活、科学研究有着重要影响,对实验的成败和真空产品的质量都起到关键的作用。所以真空测量是真空技术的一个重要环节,真空测量具有重要的意义。我们结合真空测量技术的发展历史,通过

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