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.激光干涉仪操作规程一、 操作步骤1.系统的相互连接将 PC10计算机系统与ML10 激光干涉仪用通讯电缆连接。如果需要，将 PC10计算机系统与EC10 环境补偿单元用通讯电缆连接。将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。2.激光的预热 闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约1520分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。3.测量软件的启动打开计算机，在“C”提示符下依次键入：CD/RENISHAW (RETURN)RCS (RETURN)a (RETURN)b (RETURN) 完成以上步骤后，测量软件已被启动。4.光学镜的安装将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。5.激光调整调整激光，使其与测量方向一致。调整时，首先用粗光束调，然后用细光束调，保证信号强度达到测量精度要
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