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.半导体工艺讲解(1)-掩模和光刻（上）概述光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的1/3，耗费时间约占整个硅片工艺的4060%。光刻机是生产线上最贵的机台，515百万美元/台。主要是贵在成像系统（由1520个直 径为200300mm的透镜组成）和定位系统（定位精度小于10nm）。其折旧速度非常快，大约39万人民币/天，所以也称之为印钞机。光刻部分的主 要机台包括两部分：轨道机（Tracker），用于涂胶显影；扫描曝光机（Scanning )光刻工艺的要求：光刻工具具有高的分辨率；光刻胶具有高的光学敏感性；准确地对准；大尺寸硅片的制造；低的缺陷密度。光刻工艺过程一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。1、硅片清洗烘干（Cleaning and Pre-Baking）方法：湿法清洗去离子水冲洗脱水烘焙（热板1502500C,12分钟，
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