北京大学微纳平台磁控溅射镀膜仪.DOC

1、北京大学微纳平台磁控溅射镀膜仪招标采购项目招 标 文 件编号：200854北京大学实验室与设备管理部二八年十二月五日招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.1.目 录第一部分 投 标 邀 请 .2第二部分 招标说明 .4第三部分 技术要求 .7第四部分 设备明细表 .9第五部分 技术规格偏离表 .10第六部分 原厂授权书 .11开 标 一 览 表 .12招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.2.第一部分 投 标 邀 请公告日期：2008 年 12 月 5 日项目名称：北京大学微纳平台“磁控溅射镀膜仪”招标采购项目招标编号: 200854招标机构名称: 北京大学实验室与

2、设备管理部地 址：北京市海淀区颐和园路 5 号北京大学（红 1 楼、红 2 楼之间的横楼二层 5225 室）邮 编：100871电 话： 62751412；传 真：62765115联 系 人：石铄 张宇波 张洁 北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构” ）具体承办北京大学微纳平台“磁控溅射镀膜仪”招标采购项目的招标采购事宜，邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标。合格投标人均可在招标机构得到进一步的信息和查阅招标文件。1.招标内容1.1 招标货物名称：磁控溅射镀膜仪1.2 数量及技术规格要求：详见标书 1.3 交货地点：北京首都机场2.合格投标人必须符合中华人民共和国政府采购法

3、第二十二条之规定。3.招标文件购买时间和办法：2008 年 12 月 9 日 9:00 至 16:30 时在招标机构（北京大学西门内红 1 楼、红 2 楼之间横楼二层 5225 室）购买招标文件。标书售价 200 元人民币，售后不退。4.投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书（http:/ 接受投标及投标截止时间：所有投标书应于 2008 年 12 月 16 日 13:30 前递交到上述购买标书地址，逾期恕不接受。5.2 开标时间：兹定于 2008 年 12 月 16 日 13:30 整在北京大学实验室与设备管理部后院会议室进行开标、评标工作。6.投标细则

4、6.1 投标内容6.1.1 最终用户：北京大学微纳平台招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.3.6.1.2 设备名称：磁控溅射镀膜仪6.1.3 投标语言：投标文件第四部分- Summary Sheet of Goods Description（设备明细表）及第五部分-Specification and Deviation Form（技术规格偏离表）以中英文对照应标，其余相关投标文件以中文应标。6.1.4 投标货币：美元6.1.5 交货时间：合同签订后的十二至十六周6.2 付款条件：招标机构接受以下付款方式：100%不可撤消即期信用证，其中 90%货款凭装运单据支付，10%尾款凭用

5、户签字确认且加盖单位公章的验收报告支付。6.3 标书文件要求6.3.1 投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)6.3.2 技术规格应答及偏离表（Specification and Deviation Form） （请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标）6.3.3 技术资料及样本原件6.3.4 原厂商委托书原件（适用于投标人为贸易公司者）6.3.5 资格证明文件包括：营业执照（复印件） ； 法人资格证明或法人代表授权书；税务登记证明（复印件） ；注册资本证明（复印件） ；银行资信证明；近三年的销售业绩及投标人认为有必要提供的相关证明文件。6

6、.4 文件数量：一式陆份（一份正本五份副本） ，开标一览表（SUMMARY SHEET FOR BID OPENING）正本壹份（请单独放在壹小信封内供开标用）7.投标地点和开标地点：北京大学实验室与设备管理部会议室8.中标结果将在评标结束后以书面形式通知中标商。9.中标服务费按差额定律累进法计算收取，具体为：9.1 100 万元人民币以下部分按 1收取；9.2 100500 万元人民币部分按 0.8收取；9.3 500 万元以上人民币部分按 0.6收取。10.条款解释：本招标文件内容的解释权属于北京大学实验室与设备管理部。招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.4.第二部分 招标

7、说明一 招标要求1. 北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构” ）具体承办北京大学微纳平台“磁控溅射镀膜仪”招标采购项目的招标采购事宜(Bid No. 200854)。2. 投标人应仔细阅读招标文件（包括技术规格）的全部条文。3. 投标人所提供货物的技术规格应符合或超过标书中技术规格的要求。如果投标人不提供技术规格偏离表说明偏离情况，则将认为提供的货物完全符合招标文件的要求。4. 投标产品是用新技术制造的，应相当或超过招标文件规定的技术规格，投标产品应具有相当或更好的性能、可靠性和耐用性。5. 投标时提交的产品样本必须是“原件” ，而不是“复制件” 。6. 交货地点为北京首都机场。7.

8、 交货时间在标书的技术规格部分中已注明。在投标文件中，投标人必须说明在授标以后完成交货的时间，经双方同意的交货期从合同生效之日算起。8. 除了在技术规格中提出的要求外，在合同生效后 60 天之内，为使用户做好准备工作，卖方应给最终用户邮寄一套所供产品的全套技术资料，其中包括操作手册（或应用指南） 、维修手册等，另一套完整技术资料应随货物包装发运，这些费用应包括在该品目的基本报价中。9. 在合同生效后 30 天内应将设备安装前对实验室的具体要求邮寄给最终用户。10. 设备应包括一套标准附件和专用工具，投标人按常规提供的标准附件和工具的数量，应在投标中说明，并报单价。这些费用应包括在该品目的基本价

9、格之内。11. 对招标品目，除了标准附件外投标人还可提供保证设备正常运行的附件，专用工具，它们是该品目的补充部分，需分别报单价和总价，在评标时其总价应计入该品目的基本价格之内。12. 在技术规格中提出了询问的附件、备件、专用工具和消耗品，需分别报单价和总价，一旦接受，其费用将记入合同。13. 除了技术规格中买方提出的要求之外，投标人可以推荐某些附件、备件和消耗品，它们是供选购的，应分别报单价和总价，一旦接受，其费用将计入合同。14. 维修及技术服务要求详见标书技术需求部分。15. 投标文件一式六份(一正五副 )，包括以下文件：15.1 投标设备及价格明细表(Summary Sheet of G

10、oods Description)15.2 技术规格应答及偏离表(Specification and Deviation Form)（请对技术标书内容逐项应答并填充具体招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.5.指标）15.3 技术资料包括样本原件15.4 原厂商委托书原件(适用于投标人为贸易公司者 )15.5 资格证明文件16. 投标文件有效期为自开标之日起的 60 天。投标货币为美元。接收投标文件截止时间为 2008 年 12月 16 日 13：30 时。投标商务必在此时间前把密封投标文件送达，逾期恕不接受。邮编：100871； 电话：010-62751412 ； 传真：010

11、-62765115 联系人：石铄、张宇波、张洁。二 评标原则1. 初步审查及确定是否基本响应：1.1 审查投标人所投的标是否完整无误，如单价和总价间有出入，则以单价为准，修正总价；如文字与数字间有出入，则以文字金额为准；1.2 确定标书是否对招标文件做出了基本响应，即是否符合招标文件的所有条款，有没有重大偏离。重大偏离系指实质上影响投标人提供货物数量、质量或交付期，或者指实质性地与招标文件不一致，限制了招标方的权利或投标人的义务；1.3 对标的响应性的确定是依据投标文件本身的内容，而不受外因的影响；1.4 确定为未做出基本响应的标将予排除，投标人不能在开标之后，通过改正不符之处而使其投标变为能

12、响应。对于投标文件中并不构成重大偏离的任何细小的不正规、不一致或参差不齐，可以忽略。2. 评标方法：本次招标采用综合评分法，是指在最大限度地满足招标文件实质性要求前提下，按照招标文件中规定的各项因素进行综合评审后，以评标总得分最高的投标人作为中标候选供应商或者中标供应商的评标方法。3. 评分因素所占权重：3.1 投标报价：40；3.2 综合商务：10，考虑投标商资质状况；考虑投标人供货方案；考虑投标人过 3 年做过的与本项目相同或相似的项目业绩等；3.3 技术性能：40，考虑投标商的设计方案、投标产品的配置、性能等；3.4 售后服务：10；售后服务，培训等；4. 标的澄清：为有助于对评标文件进

13、行审查、评价和比较，我们可以请投标人澄清其投标内容。提出澄清的要求与答复均应是书面的，并不得改变投标价格或实质内容。招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.6.5. 资格后审：5.1 这次评标中，我们将对综合得分最高投标人和紧接其后的具有评估价的另一投标人进行重点资格后审；5.2 确定所选择的投标人是否有资格满意地履行合同，同时对紧接其后的具有评估价的另一投标人也要求做出类似的确定；5.3 做出确定时将考虑投标人的财务、技术、服务和生产能力。审查是以投标人提交的投标人资格证明文件及我们认为必要的其它资料为基础进行的；5.4 如果确定综合得分最高的投标人不符合履行合同资格，其标将被排

14、除，随即考虑第二家。6. 授予合同的准则：招标机构不承诺最低价中标，将把合同授予成功的投标人，即所投的标被认定是能最大限度的响应、综合得分最高且是经资格后审后认为能满意地履行合同的投标人。7. 废标：遇到下列情况之一时，可以废标：7.1 全部投标厂商均不具备投标资格；7.2 全部投标实质上都有不符合招标文件要求；7.3 缺乏有效的竞争；7.4 投标价格超过预算，招标人无力支付。三评标程序1. 从开标到批准授予合同为止，这一段工作称为评标。2. 开标后，业务组整理投标文件及有关商务资料，登记分发给评标人进行评标。3. 评标人检查投标文件的完整性。投标文件应包括以下文件：3.1 投标设备及价格明细

15、表(Summary Sheet of Goods Description)3.2 技术规格应答及偏离表(Specification and Deviation Form)3.3 技术资料（样本原件）3.4 原厂商委托书原件(适用于投标人为代理商或贸易公司)3.5 资格证明文件招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.7.第三部分 技术要求1. 设备名称：磁控溅射镀膜仪2. 数量：一套3. 设备用途说明磁控溅射镀膜仪是微米纳米器件制备的必备设备，可用于制备普通金属薄膜，磁存储介质薄膜，ITO (indium oxide doped with tin)导电薄膜，光电薄膜，抗腐蚀硬质膜，半

16、导体薄膜，氧化物绝缘层等等。本设备是北京大学微纳米超净加工实验室的主要镀膜设备之一。4. 规格、技术要求及参数（包括提供技术文件或图纸、设备工作条件及环境要求）真空系统：Peiffer 210 l/s （或同类）涡轮分子泵，液氮冷阱，双级前级泵；3 支 2”靶枪，每支靶枪带有单独挡板，靶枪可调角度进行多靶共溅射；至少 2 个靶枪适合溅射靶材为 1 mm 厚铁片的铁磁性薄膜；2 台 AE 500 瓦直流电源，可切换到所有三个溅射阴极；1 台 300-600 瓦射频电源，以及相应的自动匹配器，具备射频预清洗功能；采用向下溅射方式，靶基距离高度在 50mm 到 150mm 范围可调节；最大适用 4”

17、直径样品，样品台转速 0-20 （或稍小）RPM；3 路质量流量计：100sccm 一路用于氩气，30sccm 一路控制氧或氮气，另一路 30sccm 备用（适用氧气或氮气） ；能够实现稳定的反应气压调节，反应气压测量精度 0.1 mtorr；溅射室和分子泵之间安装闸板阀，便于装卸样品；具备完整的真空测量系统，包括测量溅射室初真空、溅射室本底真空、溅射时的反应气体压力、分子泵前级初真空等；配备石英晶体膜厚控制仪，控制两个探测头；可以快速开启的样品装卸门，方便更换靶材；2 个观察窗（分别带挡板更好） ，可看正、侧两面；溅射室预留 2 个 CF35 法兰接口；足够2年使用的备件，包括石英晶体膜厚仪

18、探头、晶片、真空易损配件、非标专用法兰等；维修用工具箱及工具图 1：靶位和溅射方向示意图招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.8.选项（请按投标同等优惠单独报价，一旦选用将计入合同）样品台加热与冷却作为选项功能5 技术指标 极限真空：溅射腔室无负载情况下抽12小时，真空优于510 -7 torr； 加液氮的情况下，40分钟内能够从大气抽到工作真空，510 -6 torr； 关闭闸板阀后，溅射室空气泄漏率不大于 510 -5 mbar/s； 气体流量控制精度 1 sccm； 溅射均匀性：4英寸样品薄膜均匀性优于 5%，重复性优于 3%；样品台选项：达到需要加热的温度后，温度控制精度

19、优于 3 度。注：应对验收指标和检测条件进行书面承诺。6. 技术服务条款仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后两周内执行安装调试直至达到验收指标。免费保修期一年以上。在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修。保修期自验收签字之日起计算。保修期满前 1 个月内卖方应负责一次免费全面检查，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。厂家提供终身维修，并保证零配件的供应。技术培训：由专业工程师现场安装培训，培训时间为 2 个工作日。维修响应时间：卖方应在 24 小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题在 48 小时内解决，重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或

20、提出明确的解决方案，否则卖方应赔偿相应的损失。软件升级：卖方应免费向用户提供仪器控制软件的升级服务。7包装要求及运输方式包装要求：投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。8. 交货日期合同签订后 1216 周内交货9. 交货地点北京首都机场10.验收标准按标书及合同规定的技术标准及相关条款验收。招标编号：200854 北京大学实验室与设备管理部.9.第四部分 设备明细表Summary Sheet of Goods DescriptionBid No. 200854 Item No.序号Commodity品 名Specifications技术规格Qty数量Unit单位Unit Price单价Amount总价Signature of Bidder: _投标商签字：