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立式炉安全操作规程 1. 目的 为DJ-802V型LPCVD立式炉的开关机安全操作以及设备紧急避险提供指导。2. 范围：本规程适用于DJ-802V型LPCVD立式炉安全技术操作。3. 参考设备安全使用管理制度4. 职责4.1. 设备工程师负责设备的正常开、关机操作的培训和指导；4.2. 扩散操以及设备工程师等相关人员可执行设备的紧急避险程序。5. 开机前确认5.1. 开机前确认住控制器开关、传片单元开关、显示器开关、炉体加热开关、控制器电源开关、DN-130P极限温度控制器电源开关、FFU电源开关、照明灯电源开关都在OFF位置；若不在，则将开关调整至OFF位置。图片 5.2. 开机前动力条件确认：打开阀门后观察氮气压力、硅烷压力、二氯二氢硅压力、笑气压力、氨气压力、压缩空气压力、冷却水压力均在压力表绿色区间内。气体压力，SiH4：21kg/cm2，SiH2CL2：0.70.1 kg/cm2，N20：21 kg/cm2，氨气：21 kg/cm2，N2：21 kg/cm2，压空：51 kg/cm2
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