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图1为所用大型试样自动研磨与抛光装置照片，该设备可以实现大尺寸试样的粗磨、精磨与抛光等，能够一次完成3个大块试样的粗磨到抛光全过程。其中精磨采用220#，600#，1200#三种金刚石磨盘，抛光采用9mm抛光布(配合使用9mm金刚石悬浮抛光液)和3mm抛光布(配合使用3mm金刚石悬浮抛光液)。此外，由于其具有粗磨功能，能够实现对试样进行逐层刨削，且刨削深度可以精确设定。在本次分析检验中，对每块检验试样距上表面0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm、5mm和30mm，共计7个不同表层深度试样表面的非金属夹杂物进行了分析检验。对非金属夹杂物分析检验采用了美国ASPEX公司生产的Aspex eXplorer型扫描电镜，该设备除了具备常规扫描电镜的检验功能外，还能够对大尺寸试样进行自动扫描分析，得到所检验面积内的夹杂物数量、尺寸、形貌、成分、位置等信息。图1 试样自动研磨与抛光装置照片采用Aspex Explorer扫描电镜对夹杂物进行分析检验的工作原理如图2-3(a)所示：（1）首先在较低放大倍数下采用较大步（0.79mm）进行移动扫描分析；（2）当电子束检测到夹杂物后，
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