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MEMS扫描镜介绍,MEMS微镜按原理区分MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的,把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜,当其光学偏转角度较大(达到10以上),主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时,可被称为“MEMS扫描镜”,以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件,应用领域已渗透到消费电子、医疗、军事国防、通讯等。这其中有已经量产的应用,还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面:激光扫描、光通讯、数字显示。扫描镜主要可用在激光雷达LiDAR、3D摄像头、条形码扫描、激光打印机、医疗成像;光通讯主要指光分插复用器、光衰减器、光开关、光栅;数字显示指高清电视、激光微投影、数字影院、汽车抬头显示(HUD)、激光键盘、增强现实(AR)等方面的应用。MEMS微镜在激光雷达的应用MEMS微镜在3D摄像头中的应用MEMS微镜在光学通讯中的应用MEMS微镜在激光虚拟键盘的应用MEMS微镜在DLP
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