s在此处键入毕业设计指导 山西大学本科论文 MEMS传感器现状及应用MEMS传感器现状及应用摘要: MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。关键词: 微电子机械系统(MEMS);传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器Current Status and Applications of MEMS SensorsAbstract: MEMS sensors feature great varieties, rapid devel
