泓域咨询/单晶炉工程项目实施阶段的质量管理单晶炉工程项目实施阶段的质量管理xxx有限公司一、 项目背景分析单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉在硅片制造过程中发挥着最为重要的作用，其中拉晶过程主要在单晶炉内进行，单晶炉可提供惰性气体（氮气、氦气为主）的制备环境，通过石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法、垂直提拉法等多种方法生长单晶体。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期，一定要根据生长设备，配置出最合理的热场，从而保证生产出来的单晶的品质
