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MEMS 考试复习题第一章 绪论1.微电子工业与 MEMS 的关系(网上搜索)教材总结：微电子工业与 MEMS 的关系主要有以下几点：对于 MEMS 的发展而言，微电子工业集成电路技术是起始点，集成电路产业按照摩尔定律一直发展到今天，推动着信息社会的迅速发展。 电子器件小型化和多功能集成是微加工技术的推动力。MEMS 是由集成电路技术发展而来的。它经过了大约 20 年的萌芽阶段，在萌芽时期，主要是开展一些有关 MEMS 的零散研究。1)2)3)PPT:微系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展。70 年代微机械压力传感器产品问世，80 年代末研制出硅静电微马达，90 年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等 相继规模化生产，充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景。MEMS 用批量化的微电子技术制造出尺寸与集成电路大小相当的非电子系统，实现电子系统和非电子系统的一体化集成，从根本上解决信息系统的微型化问题，实现许多以前无法实现的功能。 今天的 MEMS 与 40 年前的集成电路类似，MEMS
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