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第一部分 引言 本设计是应用于电容传感器微小电容的测量电路。 传感器是一种以一定的精度把被测量转换为与之有确定对应关系的、便于应用的某种物理量的测量装置。传感器在发展经济、推动社会进步方面有着重要作用。 电容式传感器是将被测量转换成电容量变化的一种装置,可分为三种类型:变极距(间隙)型、变面积型和变介电常数型。二、电容式传感器的性能 和其它传感器相比,电容式传感器具有温度稳定性好、结构简单、适应性强、动态响应好、分辨力高、工作可靠、可非接触测量、具有平均效应等优点,并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作,广泛应用于压力、位移、加速度、液位、成分含量等测量之中1。 电容式传感器也存在不足之处,比如输出阻抗高、负载能力差、寄生电容影响大等。上述不足直接导致其测量电路复杂的缺点。但随着材料、工艺、电子技术,特别是集成电路的高速发展,电容式传感器的优点得到发扬,而它所存在的易受干扰和分布电容影响等缺点不断得以克服。电容式传感器成为一种大有发展前途的传感器2。第二部分 正文一、电容式传感器测量电路 由于体积或
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