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厂务巡检及安全管理制度6.1设备巡检制度设备巡检是保证设备运行的一项重要的监控措施，设备人员应严格按照巡检制度进行定时的巡检，保证设备的正常运行。1.严格按照规定的时间段进行巡检，不得早抄，假抄，补抄，以及故意写虚假数值，要确保数据的真实性。2.巡检人员应很清楚设备的正常数值范围；这样才能发现设备的异常情况；3.在巡检过程中，若发现设备运行存在问题，或异常，立即采取措施，如果自己不能解决应立即上报主管。4.巡检人员在巡检过程中应注意安全，带好防护装置，不得随意动设备，防止坠落，砸伤，冻伤，电击等危险发生。5巡检人员应保管好记录表，不得随意乱扔，乱丢，以防丢失。6.2厂务设备正常数值一览表特气（单位：Psi）NH3SiH4CF4低压高压低压高压低压高压50x5580x16050x60120x130040x45100x1500液氮、液氧（单位：MPa）液氮液氧高纯氮低压低压低压高压0.4x0.6 0.4x0.6
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