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摘 要:精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上，会引起机台机械共振，使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长，针对这一问题，提出了基于精密工作台振动模型，采用极点配置、模型参数匹配的方法设计PID控制器。通过实验，与PD+加速度前馈的控制方式相比较，当工作台以120mm/s、1g的加减速运动时工作台轨迹跟踪精度提高了2m，定位建立时间缩短了10ms。结果表明，采用基于振动模型设计的PID运动控制具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能。关键词:PID控制;直线电机;机械共振;精密工作台;极点配置 用于半导体制造装备或者精密加工的精密工作台，为了隔离外部振动，通常都安装在精密隔震台上，由于受结构限制，精密工作台的机台质量以及它的联结刚度就受到限制。在高速高加减速运动过程中，由于运动反力的作用，机台会产生机械共振13，同时由于采用直线电机+气浮导轨的直接驱动形式，运动方向无机械阻尼，运动精度很容易受到机台共振的影响，使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长。抑制机台的机械共振，可以通过附加阻尼装置或者反力引出装置4，5来实现，但是由于受环境制约，这些装置有时难于利用。大川、山本等人
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