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精选优质文档-倾情为你奉上EX2椭圆偏振测厚仪操作步骤By冶前增 1.打开仪器电源开关，打开电脑，点击打开软件EX3进入预热界面（若是之前已经预热过或打开仪器超过十分钟则点击取消加热直接进入测量界面）。2.点击测量原理，了解测量的基本原理与步骤。3.点击仪器设置，由于仪器之前已经设置好了，这一步可直接跳过。4.点击放置样品，样品台和入射臂和检偏臂角度已设置好，直接将样品放置在样品台上且测量面朝上，将光源孔的保护膜撕下。点击软件的开始按钮进行光强测量，选择适当的增益使得光强10%。5.点击软件中的测量样品按钮进入测量样品界面。（1）.搜索P的消光区域：起偏器P旋转，初始范围0180；检偏器A角度固定初始为45，方位角扫描歩距可设置，初始为2；设置完毕后点击开始按钮，界面中间出现光强值曲线，右侧为曲线对应原始数据，可导出保存。待起偏器P停止旋转，点击“分析”按钮，然后保存数据。（2）搜索A的消光区域：起偏器方位角P固定，角度设置为步骤（1）中的消光角P0，检偏器A旋转，初始范围为0 90，后面操作与步骤（1）。下面开始
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