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真空镀膜设备及镀膜加工(共4页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上真空设备及镀膜加工真空工艺简介:真空学名物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,),表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。 物理气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、,及分子束外延等。发展到目前,物理气相沉积技术不仅可沉积、合金膜、还可以沉积化合物、聚合物膜等。九大类产品,包括多弧离子、磁控溅射真空镀膜设备、真空镀膜设备、蒸发真空镀膜设备、光学真空镀膜设备、卷绕式真空镀膜设备、+工模具镀膜系列,AZO透明导电膜镀膜生产线和连续式磁控溅射镀膜生产线等。专心-专注-专业

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