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中国扫描电子显微镜的发展历史19581958年，中国科学院科学仪器厂成立，期间，为“两弹一星”加工制造做出重要贡献。19651965 年，中国科学院科学仪器厂设计研制我国第一台 DX-2 型透射式电子显微镜。19751975 年，中国科学院科学仪器厂自行研制成功电子显微镜 DX-3 型，主要指标达当时国际先进水平。1978 年获全国科学大会一等奖19771977 年，中国科学院科学仪器厂研制成功 X-3F 双道 X 射线光谱仪。与 DX-3 扫描电镜匹配，发展为 DX-3A 分析扫描电镜。获 19781979 年中国科学院重大科技成果一等奖。19801980 年，中国科学院科学仪器厂研制成功 DX-5 型扫描电镜，获中国科学院 1986 年科技进步奖。19831983 年，中国科学院科学仪器厂从美国 Amray 公司引进微机控制、分辨本领 6nm，功能齐全的 Amray-1000B 扫描电镜生产技术。 19851985 年，中国科学院科学仪器厂生产了 KYKY-1000B 扫描电镜，共生产 100 台。获 1988 年国家科技进
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