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精选优质文档-倾情为你奉上激光干涉仪激光干涉仪是利用光的干涉原理测量之差从而测定有关的一种精密。其基本原理和结构为迈克尔逊干涉仪。两束间的任何变化会非常灵敏地导致的移动等），而某一束相干光的光程变化是由它所通过的路程或介质的变化引起，所以通过干涉场的变化可测量几何长度尺寸或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的，如传统迈克尔逊干涉仪中干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变1/2个波长，所以干涉仪是以波长为单位测量光程差的。现代激光干涉仪是以波长高度稳定的稳频激光器为测量工具，其稳定度一般优于10的7次方。激光干涉仪的测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。（一） 第一代激光干涉仪最早的干涉仪以单频激光器作光源，基本与迈克尔逊干涉仪一样，只是平面镜被角锥棱镜代替，同时加入了两个探测器来探测干涉场，如图1所示。系统设法使两个探测器探测到的信号相位差90，以便实现可逆计数。参考镜图1探测器分光棱镜激光器测量镜探测器单频干涉仪的输出信号可以表示为其中为直流分量，为交流分量振幅
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