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精选优质文档-倾情为你奉上表面清洁药水分析规范一、铜粒子分析：1、取槽液1ml于250ml的锥形瓶中，加入150ml的纯水，加入3-5mL浓氨水(此时为蓝色)，静置5分钟至反应完全，加入5到10滴PAN指示剂，用0.1mol/L的EDTA标准溶液滴定至溶液呈绿色为终点2、计算：Cu2+（g/L）=VEDTANEDTA63.54/样品取样数ml3、分析频率：1次/天4、槽液维护：当Cu2+20g/L时换槽或稀释药水。二、微蚀缸之微蚀量的分析：1、剪切“10cm10cm”铜片一片避免污染，用分析天平称铜片重量（天平应精确到0.001g）。让铜片在清洗线设备上运行一次。将铜片冷却后称重（避免指印或其它污染）。2、计算：微蚀率=（铜片处理前重量铜片处理后重量）/0.2铜片面积3、分析频率：1次/天三、微蚀缸之H2O2的分析：1、取1ml槽液于250ml 锥形瓶中，加入50ml的DI水，加入10%的H2SO410mL，加入8到10滴亚铁试剂溶液，用0.1N的硫酸铈铵标准溶液滴定至蓝色。2、计算：H2O2()=V硫酸铈铵
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