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电容式微位移传感器自校准技术的基本原理(共3页).docx

精选优质文档-倾情为你奉上电容式微位移传感器自校准技术的基本原理学生:许世飞 学号:电容式微位移传感器是将被测量的位移量,转化为电容变化量的传感器。其中,极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。但电容量随极距的变化不是线性变化的,因此需要在获得输出信号后对其进行校准。本文所阐述的原理是获得传感器的校准曲线对传感器进行校正,校正的前提是已知传感器的精度。通过激光干涉仪,可以确定偏移量,由此确定传感器的精度和非线性误差。1、绝对校准原理:首先,设f(x)为传感器的输出信号,则 。其中S0为校准曲线的斜率,x为位移量,g(x)为误差。设 ,则在 处,其中是g(x)的反函数。且。其中位移偏移量可以通过激光光源确定,由此可计算 : 由此可计算出,h(z)可以通过对积分求得。这就得到了传感器的非线性误差。2、两种校正系统: 图中,位移传感器、工作台、激光干涉仪和PZT组成了校正系统。图(a)是通过Z向平台的运动来改变传感器和工作面的距离,进而得到测量结果;图(b)是通

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