1、 1原子力显微镜技术参数一 主要功能特点硬件系统1、主机与控制箱分开，外形结构简单；2、扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；3、精密激光定位装置，使用时无需调节光斑位置；4、采用精密探针定位模块，更换探针简单方便；5、采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；6、伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；7、高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；8、高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；9、带光学定位的 CCD 观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域；10、模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；1
2、1、集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用；12、弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强。13、带温控、湿控功能软件系统13、可自由选择图像采样点为 256256 或 512512；14、多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；15、可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；16、可任意选择样品起始扫描角度；17、激光光斑检测系统的实时调整功能；18、可任意定义扫描图像的色板功能；19、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；20、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；21、支持样品图片离线分析与处理功能。二 主要技术指标22、 工作模式：接触、轻敲，可扩展相位、
3、摩擦力、磁力或静电力223、 样品尺寸：90mm，H20mm24、 最大扫描范围：横向 20um，纵向 2um25、扫描分辨率：横向 0.2nm，纵向 0.05nm26、扫描速率：0.6Hz4.34Hz27、扫描角度：任意28、样品移动范围：0 20mm29、马达趋近脉冲宽度：102ms30、光学放大倍数： 4X31、光学分辨率：2.5um32、图像采样点：256256，51251233、扫描控制：XY 采用 18-bit D/A，Z 采用 16-bit D/A34、数据采样：14-bit A/D、双 16-bit A/D 多路同步采样35、反馈方式：DSP 数字反馈36、反馈采样速率：64.0KHz37、计算机接口：USB2.038、运行环境：运行于 Windows98/2000/XP/7/8 操作系统
