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微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx

精选优质文档-倾情为你奉上第一章 电容效应1.1工作原理分析电容传感器的工作原理是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为 当被测参数变化使得S、d或发生变化时,电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量输出。电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介质式3种类型。(一) 极距变化型极距变化型电容传感器变间隙式电容式传感器 当传感器的r和S为常数,初始极距为d0时,初始电容量C0为若电容器极板间距离由初始值d0缩小了d,电容量增大了C,则有 在式中,若d/d01时,则展成级数:此时C与d近似呈线性关系,所以变极距型电容式传感器只有在d/d0很小时,才有近似的线性关系。另外,在d0较小时,对于同样的d变化所引起的C可以增大,从而使传感器灵敏度提高。(二) 面积变化型面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等保持不变,被测量的变化使其有效

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