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精选优质文档-倾情为你奉上材料分析方法复习提纲电子束与物质的相互作用以及电子光学基础1、电子束与物质相互作用产生的各种信号及特点1) 背散射电子:能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。2) 二次电子:能量较低；来自表层510nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。3) 吸收电子:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电子的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度，即可用来进行定性的微区成分分析.4) 透射电子：透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析。5) 特征X射线: 用特征值进行成分分析，来自样品较深的区域6) 俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低；来自样品表面12nm范围。它适合做表面分析。2、轻元素的滴状作用体积、重元素的半球状作用体积的形成原理3、电磁透镜的聚焦原理1) 电荷在磁场中运动时，受到磁场的作用力，即洛仑磁力。2) 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像
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