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扫 描电 子显 微镜 概述原理部分 SEM 基本原理 SEM 成像参数 SEM 成像影响因素 样 品制备 和一般性应 用 样 品制备 一般性应 用 在纳 米材料领 域的应 用 文献讲 述 提纲引言 扫描电镜（SEM）是一种大型精密仪器，为微 观世界的探测提供了一种新的研究手段，不仅 用于植物学、医学、微生物学、古生物学、考 古学、材料学、化学、物理学、电子学、地质 矿物学、食品科学等领域，而且还广泛地应用 于半导体工业、陶瓷工业、化学工业、石油工 业等生产部门。随其普及和发展，SEM已经成 为广泛的测试手段，并且在基础研究和应用研 究上取得了显著成果。扫描电镜的优点 高分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪 的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已经 达到1纳米左右； 有较高的放大倍数； 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观 察各种试样凹凸不平表面的细微结构； 试样制备简单； 配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形 貌的观察和微区成分分析。 扫描电镜的发展历程1 1924年，法国科学家De.Broglie证明任何粒子在高速运 动时都会发射一定波长的电磁辐射
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