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单击此处编辑母版标 题样式 单击此处编辑母版副标题样式 * 1 扫描电镜显微分析简介 扫描电子显微镜扫描电子显微镜扫描电镜显微分析简介 概况 扫描电镜的优点 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的构造 扫描电镜的主要性能 应用举例概况 扫描电子显微镜简称扫描电镜，英文缩 写：SEM 。为适应不同要求，在扫描电镜 上安装上多种专用附件，实现一机多用， 使扫描电镜成为同时具有透射电子显微镜 （TEM ）、电子探针X 射线显微分析仪（ EPMA ）、电子衍射仪（ED ）等多种功能 的一种直观、快速、综合的表面分析仪器 。 扫描电镜的优点 高的分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射 电子枪的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的 分辨率已经达到1 纳米左右。 有较高的放大倍数，20-20 万倍之间连续可调。 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直 接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。 试样制备简单。 可直接观察大块试样。 适用于固体材料样品表面和界面分析。 适合于观察比较粗糙的表面：材料断口和显微组 织三维形态。扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理 信号是电子束轰击
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