扫描电子显微术 Scanning Electron Microscopy电子显微的一个粗略年表 1930年末：第一台透射电子显微镜 1935年：德国的Knoll提出了扫描电 镜的概念(STEM的概念, 100 mm 分 辩率) 1938年：Von Ardenne开始进行实 验室研究，SEM-50 mm分辨率 1942：Zworykin. Hillier, 制成了第 一台实验室用的扫描电镜 - 今天扫描电镜的全部基本原理 - 50 nm 分辨率 - 问题: 贵, 照相（曝光）时间长, 电子干扰（噪声） 结论: SEM 不实用! 1948：C.W. Oatley, 剑桥大学SEM 的历史 1938年Ardenne用一个透射电镜(TEM)的光栅电子束第一次推 断了 SEM 1942年, Zworkin等人第一次为块状样品发展了SEM . 1965年，第一台商品SEM. SEM的分辨率被不断地提高从1942 年的50nm到今天的 0.5nm. SEM 检测信号用于 确定成分信息, 如 特征X-射线, 背散射电子 ,阴极发光, 俄歇电子和样品电流等。第一个扫描电镜装置 剑桥大学，1951年第一台
