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半导体制造技术 第 4 章 硅和硅片制备 4.1 引 言 硅是用来制造芯片的最重要半导体材料。对于 可用于制造半导体器件的硅而言。使用一种特殊纯 度级以满足严格的材料和物理要求。 在硅片上制作的芯片的最终质量与开始制作时 所采用的硅片的质量有直接关系。如果原始硅片有 缺陷，那么最终芯片上也肯定会存在缺陷。对硅片 以及制备过程的了解有助于理解硅片在整个芯片制 造过程中的重要性。 纯硅要求将硅原子级的微缺陷降到最小，这些 缺陷对芯片的性能是非常有害的。一旦得到了纯硅 ，就要把它制作成带有想要的晶向、适量的掺杂浓 度和半导体芯片制备所需物理尺寸的硅片。
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