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缺点： 伺服控制和速度规划分开实现，无法用速度规划的信息做前馈控制，伺服响应较慢，单轴跟随误差大 各轴伺服控制分开实现，无法自动实现各轴伺服响应的匹配，得到高精度的轨迹控制。 无法补偿反向摩擦力 无法主动消除轨迹误差 无法进行耦合控制，实现高同步的龙门控制减小单轴跟随误差对减小轮廓误差有作用， 但是也有很多限制。例如上图中，同时减小 XY 的跟随误差后，其轮廓误差并没有明显减 少，反倒有可能增大。平且一味的减少单轴 跟随误差还有可能导致系统太灵敏而不稳 定。变增益交叉耦合控制： 以减小轨迹误差为目标的控制算法 直线电机优点（无铁芯无刷直线电机） 高精度：（无传动误差，高分辨率光栅尺，全闭环控制）定位 精度（4um ）、重复定位精度（1um ） 高速度：高达5m/s （300m/min ） 高加速度：可达5G 高刚性（动态响应快），直线电机系统的单轴跟踪误差比传统 旋转电机可以小10 倍以上 无反向间隙 无磨损，寿命长 直线电机及驱动器相关品牌 中国大陆：大族、华嶺、维纳、同日等 中国台湾：Hiwin 等 美国：Parker 、Copley 、GlenTek 等 以色列：Elmo 、M
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