引言 扫描探针显微镜的产生及原理 扛蚀剂曝光加工 局部氧化加工 添加式纳米加工 抽减式纳米加工 高产出率扫描探针加工 扫描探针加工技术出现于扫描隧道显微镜发明以后 长时间使用STM观察硅后，在样品表面留下了一些 扫描线图形。 这些图形是表面局部氧化现象。 标志着扫描探针加工的开始。 扫描隧道显微镜STM,原子力显微镜AFM,近场扫描光 学显微镜NSOM 统称扫描探针显微镜SPM 优点： 简单易操作 任何探针都可以附带进行纳米加工 局限性： 加工精度有限: 几十纳米 加工深度有限：几十纳米 加工速度低：扫描速度低，每秒微米亚微米 加工面积小：几十微米扫描探针显微镜的产生的必然性 扫描探针显微镜的产生的必然性 1933 1933年 年 电子显微镜 电子显微镜 Ruska Ruska Knoll Knoll 透射 透射 电子 电子 显微 显微 镜 镜 扫描 扫描 电子 电子 显微 显微 镜 镜 场电 场电 子显 子显 微镜 微镜 场离 场离 子显 子显 微镜 微镜 低能 低能 电子 电子 衍射 衍射 光电 光电 子能 子能 谱 谱 电子 电子 探针 探针 表面结构分析仪器的局限性 表面结构
