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第4章 电容式传感器测量电路 1.2 第4章 电容式传感器 基本工作原理、结构及特性 4.1 4.2 误差分析 4.3 电容式传感器的医学应用 4.4电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电 容量变化的一种传感器。结构简单、高分辨力 、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振 动等恶劣条件下工作，这是它的独特优点。随 着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它 扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器。 第4章 电容式传感器 电容传感元件 被测物理量 电容变化 转换电路 电量变化第4章 电容式传感器 第一节 基本工作原理、结构和特性 两平行极板组成的电容器,当忽略边缘效应时， 它的电容量为: 式中d、S或三个参量中任意一个发生变化时，都会 引起电容量的变化，再通过测量电路就可转换为电 量输出。因此，电容式传感器可分为变间距型、变 面积型和变介质型三种类型 。 A r d一、变间距型电容传感器 第4章 电容式传感器当传感器的和S为常数，初始极距为d，当忽略边缘效应 时，可知其初始电容量C 0 为 变极距型电容传感器原理图当可动极板向下移动d 时，电容量变为 电容的变化量为 第4章 电容式传感器
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