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第十章扫描电子显微镜 q q 引言 引言 q q 扫描电镜结构原理 扫描电镜结构原理 q q 扫描电镜图象及衬度 扫描电镜图象及衬度 q q 扫描电镜结果分析示例 扫描电镜结果分析示例 q q 扫描电镜的主要特点 扫描电镜的主要特点 返回首页 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英 文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。SEM与电子探针（EPMA）的 功能和结构基本相同，但SEM一般不带波谱 仪（WDS）。 它是用细聚焦的电子束轰击样 它是用细聚焦的电子束轰击样 品表面，通过电子与样品相互作用产生的二 品表面，通过电子与样品相互作用产生的二 次电子、背散射电子等对样品表面或断口形 次电子、背散射电子等对样品表面或断口形 貌进行观察和分析 貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（ EDS）组合，可以进行成分分析。所以， SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛 用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 引言扫描电镜结构原理 1.扫描电镜的工作原理及特点 扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似 。扫描电镜成像示意图扫描电镜成像示意图JSM-6700F 场发 射扫
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