柔性薄膜电子器件设计制备与集 柔性薄膜电子器件设计制备与集 成技术 成技术2 2 内容提纲 一、需求与应用 二、面临的技术挑战 三、国内的情况和研究条件工业需求 个人需求 过去 现在 未来 PNAS 106, 10875 (2009). Science 327, 1603 (2010). 生物集成需求 可延展柔性化是微电子器件的革命性发展方向4 现在 未来采用柔性电子技术 新生婴儿护理与健康监测 Ann. Rev. Biomed. Eng. 14, 113 (2012). 电子器件可伸展柔性的重要意义有机柔性电子器件的电学性能发展瓶颈 5 5 有机太阳能电池能量转 换效率8.3%； 无机太阳能电池能量转 换效率41.1% (美国National Energy Renewable Laboratory) 蓝光有机LED外部量子 效率为4.8%，使用寿命 小于15000小时； 蓝光无机LED外部量子 效率达到60%，使用寿 命达到50000小时以上 （Kim等2010年报道） 有机电子器件的电学性能与无机电子器件相比，相差数倍 不能利用有机半导体实现高频高速特性！无机电子器件可伸展柔性的重
