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表面粗糙度测量新技术 Ppt讲解： Ppt制作： 资 料： 论 文：目录 三、激光散斑法测量 二、外差干涉式轮廓测量 一、光学探针法测量一光学探针法 有许多被测件的表面，如光盘、半导体工艺、化学样品 等是不允许触针划伤的，另外有一些质地较软的表面，也不 可用触针式电动轮廓仪测量。因此，非接触式表面轮廓探测 技术受到重视，并得到发展。一光学探针法 光学探针：是采用透镜聚焦的微小光点取代金钢石针 尖，表面轮廓高度的变化通过检测焦点误差来实现。 目前采用的有： 激光三角法探针 光学临界角法探针 像散法探针 等1-1 三角法探针原理图 1激光三角法探针 探测器是位置敏感探测器（ PSD）或电荷耦合器件（CCD）， 他的输出电压与光斑在探测器上的 位置成比例。 S S1-2 1-3 I01-4 三角法粗糙度探头光学原理图 图（1-4）为采用三角法探针原理的粗糙度探头。位置探 测器的输出电流随光点位置的不同而连续变化。 这种系统不仅能测量表面突起，还能测量表面的倾斜（一 维）。传感器可达1um的测量精度；测量范围可达毫米量级。2-1 2临界角法探针 问：在A、B、C 三位置投射到光 电探测器上的
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