第七章 微细加工技术现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 第七章 微细加工技术ji2222 n 7.1 微机械与微细加工概述 n 7.2 硅微细加工技术 n 7.3 光刻加工技术 n 7.4 LIGA 技术和准LIGA 技术 n 7.5 微细电火花加工 n 7.6 微细切削加工技术 n 7.7 薄膜气相沉积技术现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 7.1 微机械与微细加工概述 7.1.1 微机械 微机械或微机电系统（MEMS ）是指具有很小外形轮 廓尺度的微型机械电子系统。 随着微/ 纳米科学与技术的发展，以形状尺寸微小或操 作尺度极小为特征的微机械成为人们在微观领域认识和 改造客观世界的一种高新技术。 一般认为，微机械依其特征尺寸可以划分为：小型机 械（1mm-10mm ），微型机械（1um-1mm ）以及纳米机 械（1nm-1um ）。从广义来讲，微机械包括微小型机械 和纳米机械。现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 微机械的基本特征： （1）体积小、重量轻、精度高。 （2）能耗小、响应快、灵敏度高。 （3）性能稳定、可靠、一致性好。 （4）多功能化和智能化。 （5）适于大批
