电子显微镜技术第一节 电子显微镜的发展与分辨率 一、发展概况 人们对微观世界的探索有着漫长的历史, 我们知道人眼不能分辨0.2mm(2000000)以下 的距离,到光学显微镜发明以后,对微观世界 的观察前进了一大步。借助光学显微镜,人们 才看到了细胞和细菌,这对医学和生物学是一 大贡献。但光学显微镜的分辨率也只能达到 20002500,极限放大倍数为1500倍。 从本世纪初,电子光学理论得到了发展, 科学家发现光波与电子运动有很深刻的相似性 。 1926年,Busch发表了关于磁聚焦 的论文,指 出旋转对称磁场可以使电子束折射 ,如同光学透镜使光线折射一样,随后德国的 其他一些科学家发表了一系列电子光学论文, 为电子光学奠定了理论基础。 1932-1933年,德国制成了世界上第一台 透射电子显微镜(具有三个透镜,冷阴极放 电电子源,分辨率500)。 1939年,德国西门子公司生产了第一台作 为商品的透射电镜,分辨率已能达到100。 1942年英国制成了第一台扫描电镜。 电镜的出现是人们探索微观世界的一大突 破。到现在最先进的透射电镜,其分辨率已 能达到12,已能观察到重金属原子和大分