第三章 薄膜的物理气相沉积（） 溅射法及其他PVD方法 利用带有电荷的离子在电场中加速后 具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅 射的物质做成的靶电极。在离子能量合适 的情况下，入射离子在与靶表面原子的碰 撞过程中将后者溅射出来。这些被溅射出 来的原子带有一定的动能，并且会沿着一 定的方向射向衬底，从而实现薄膜的沉积 。 12随着退火温度升高 3 第一节 气体放电现象与等离子体 第二节 物质的溅射现象 第三节 溅射沉积装置 第四节 其他PVD方法 4第一节 气体放电现象与等离子体 一、气体放电现象 二、气体放电过程 三、辉光放电现象及等离子体鞘层 四、非自持放电与自持放电 5溅射气体 至真空泵 阳极 衬底 溅射靶 绝缘 辉光放电区 V（DC） 6一、气体放电现象 (gas discharge) 原子激发能（excitation energy）: 原子中电子从基态能 级激发到激发态能级所需能量。 原子电离能（ionization energy）：原子在外界因素作用 下失去一个或几个电子而形成自由电子和正离子所需 要的能量。碰撞电离、光电离（中性复合、激发态恢 复导致分级电离）、热电离。 金
