半导体工艺仿真指导书(共31页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上半导体工艺仿真实验指导书基于silvaco TCAD光电学院微电子教研中心王智鹏2014.3本指导书首先介绍了silvaco TCAD半导体工艺仿真软件的安装方法、主要界面信息与基本命令。然后分别从半导体工艺仿真与半导体器件仿真入手，重点介绍了silvaco TCAD软件的仿真操作。本指导书适用于半导体工艺及器件仿真实验、半导体器件仿真综合课程设计课程教学。一、 silvaco TCAD软件概述1、 软件的安装a) 1、运行安装文件，出现如图1.1的安装向导界面，勾选在“Install License Server”选项，点击Next，即开始安装程序。图1.1 silvaco TCAD 安装向导界面b) 安装完毕后，根据提示，设置6位数服务器密码。并保留图1.2中浏览器中自动打开的服务器网页。图1.2 服务器网页c) 运行桌面上快键方式“S. EDA Tools”，选择“Stop Server”以停止服务。把