单晶工艺操作指导2014(共9页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上科盛单晶站操作工艺规程 型号TDR-62D一. 目的： 为正确规范操作单晶炉，确保生产作业正常进行及提高工作效率。二. 范围： 适用单晶站所用TDR-62D型单晶炉。三. 依据： 依据直拉法生长单晶硅和TDR-62D型单晶炉性能。四. 权责单位： 济南科盛电子有限公司单晶站。五. 直拉单晶硅作业工艺流程：作业准备取单晶石墨件取出冷却清扫除尘罐真空泵油检查与更换石墨件清扫主副炉室清扫石墨件安装石英埚装料装炉抽空充氩气，升功率，熔料化完料降功率，温度稳定测电阻率引晶放肩，转肩等径生长收尾 停炉降功率检漏 作业准备： 进入单晶车间须穿戴好工作服，工作帽，工作鞋。 开炉前须检查水，电，气确认无异常后方可开炉。 准备好拆装炉所用的所有工具及保护