薄膜技术及应用ThinFilmTechnologyandApplications于永强电子科学与应用物理学院微纳功能材料与器件研究室薄膜材料制备原理、技术及应用唐伟忠，冶金工业出版社薄膜物理与技术杨邦朝，电子科技大学出版社薄膜物理与技术陈国平，东南大学出版社参考书在材料科学的各分支中，薄膜材料科学发展的地位极为重要。 薄膜材料是采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质层。 薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合。 薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因： (1)现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需要众多材料组合才能实现的功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段。 薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因： (2)器件的微小型化不仅可以保持器件原有的功能并使之更加强化，而且随着器件的尺寸减小并接近了电子或其他粒子量子化运动的微观尺度，薄膜材料或其器件将显示出许多全新的物理现象。薄膜技术作为器件微型化的关键技术，是制备这类具有新型功能器件的有效手段。 薄膜材
